类金刚石膜的沉积方法及应用.pdfVIP

· l96 · 材料导报 2015年 5月第29卷专辑 25 类金刚石膜的沉积方法及应用 王 宁 。，王 静 ，武玉民 ，侯保荣 (1 青岛科技大学化工学院，青岛 266042；2 中国科学院海洋研究所海洋环境腐蚀与生物污损重点实验室，青岛 266071) 摘要 类金刚石(DLC)膜是一种含有大量 sp3键的亚稳态非晶碳薄膜。类金刚石膜在化学、电学、热学、光 学、生物相容性等方面具有 良好性能，是微电子机械、医学、航空、汽车、光学等领域的理想材料，因而引起 了人们极大 兴趣，具有广阔的应用前景。简单介绍了DLC膜的结构、沉积法及在各个领域的应用与存在的问题。 关键词 类金NJ4~(DLC)膜 亚稳态 沉积法 中图分类号：TQ127．1 文献标识码：A DepositionMethodsandApplicationsofDiamond-likeCarbon (DLC)Film WANGNing ，WANGJing~，WUYumin ，HoUBaorong。 (1 ChemicalEngineeringInstitute，QingdaoUniversityofScience~Technology，Qingdao266042；2 KeyLaboratoryof MarineEnvironmentCorrosionandBio-fouling，InstituteofOceanology，ChineseAcademyofSciences，Qingdao266O71) Abstract Diamond-likecarbon (DLC)film isametastablestateofamorphouscarboncontainingasignificant fractionofsp。bonds．DuetothegoodpropertiesofDLC film inchemistry，electricity，thermology，optics，andSO on，itisanidealmaterialinsomefields，includingmicroelectronicsmachinery，medicine，aviation，automobile，optic， etc．．Therefore，itattractsgreatinterestsandhasabroadapplicationprospect．Herein，thestructuresanddeposition methodsarebrieflydiscussed．Itsapplicationsandexistingproblemsineachareaarealsodescribed． Keywords diamond—likecarbonfilm，metastablestate，depositionmethods 轨道上 ，如石墨；sp杂化时，形成的2个 键轨道在一条线 0 引言 。 上，与 2个 键轨道两两相互垂直。在 DLC膜 中，sp3和 sp 1971年美 国的Aisenberg和 Chabot采用离子束沉积 杂化键呈短程有序排列，一般由sp键连接成单个的或者破 (IBD)技术首次沉积出类金刚石薄膜 (Diamond-likecarbon， 碎的环，构成类似于石墨层状结构的小团簇，在这些团簇的 DLC)，从此人们就开始了对类金刚石性能的研究。DLC膜 边界存在无规排列 的具有 C-C 电子轨道 的 sp3杂化结 是一类在性质上和金刚石类似，具有 sp和 sp3杂化的碳原 构 一 。 子空间网络结构的非晶碳膜 。类金刚石膜具有很多优 良的 性质 ，比如耐磨性强、红外透光性好 、耐腐蚀性强、摩擦系数 低、介电常数低、疏水性强、生物相容性好等，因此它的制备 和应用引起了人们极大的兴趣 。 1 DLC膜的结构