pld制备类金石薄膜及其发光特性研究.pdf

摘 要 摘要 本论文系统研究了采用l∽准分子脉冲激光沉积技术制备无氢类金刚 石膜的工艺和性质，通过优化实验参数，获得了质量较高的类金刚石膜，并 进一步在氧气氛围中制各了s矿含量更高的纳米晶金刚石薄膜。这种薄膜中 sp3键全部由c原子组成，具有较高的硬度、较好的化学稳定性和在红外、 可见光区优良的透过性等类似金刚石薄膜的性能，具有很高的实用价值。论 文的主要内容有： (1)在不同激光功率密度和衬底温度下制各了无氢类金刚石膜，发现当 一可见光透射率降低，光学带隙变窄。室温样品的热稳定性较好，高温样品 在退火过程中会发生晶化形成石墨微晶，sp2成分增多。这说明沉积条件发 生上述变化时，样品sp2相含量增多，sp2团簇的界域扩大，原子有序性增强。 论文用c原子有序化模型解释了上述现象。 (2)测量了无氢类金刚石膜的光致发光行为，发现低温沉积的薄膜存在 可见光区的多个发光峰，而高温样品仅呈现单个较宽的发光峰，发光峰位和 底温度升高而增强和红移。论文详细讨论了材料中局域电子状态和载流子的 复合机制，认为样品的光致发光是由于不同界域的sp2团簇中局域载流子的 辐射复合而产生的。 (3)在适当压强的氧气氛中得到了纳米晶金刚石薄膜，薄膜具有较宽的 仅包含有纳米量级的晶粒。论文研究了不同氧气氛压强对薄膜结构和光学性 质的影响，分析了氧气在生长过程中重要的化学和热力学作用。 关键词：脉冲激光沉积类金刚石薄膜拉曼光谱光致发光 Abstract of Pulsedlaser diamond—likecarbon depOs“iOn the filmsandthe of study Abstract Inthis of DLCfilmswere a r，lots pape u1111ydrogenated preparedbyusing at KrFexcimerlaserdiffbrent me depositedcondition．Byoptimizing DLCfilmscontainedmore were p盯amcters，the sp。sites st曲ilitiesof DLCfilms mechaIlicalhardnessand畦let11emal uIlllydrogenated areusedina1lⅣideareaofindustrial 埘tll岫善llers—comems，州ch aremuch totlloseofmost DLCfilms-Therearesome superior hydrogenated as ． followed： poims Di锄ondlikecarbohfilmswere inthedi虢rem (1)．Ik pr印ared W11cnmelaser