位移检测技术摘要.ppt

位移传感器的发展状况 位移检测技术经过多年发展已经相当成熟, 各种位移传感器也出现在人们的视野里。位移传感器的发展经历了两个阶段, 经典位移传感器阶段和半导体位移传感器阶段。 20 世纪80 年代以前,人们以经典电磁学为理论基础,把不便于定量检测和处理的位移、位置、液位、尺寸、流量、速度、振动等物理量转换为易于定量检测、便于作信息传输与处理的电学量；近年来,位移传感器种类繁多,应用领域不断扩大,同时有越来越多的创新技术被运用到传感器中位移传感器技术已取得了突破性进展。 1.电位器位移传感器 电位器位移传感器分绕线电位器和非绕线电位器2 种: 1）绕线电位器一般由电阻丝烧制在绝缘骨架上,由电刷引出与滑动点电阻对应的输入变化。电刷由待测量位移部分拖动,输出与位移成正比的电阻或电压的变化; 2）非线绕式电位器位移传感器是在绝缘基片上制成各种薄膜元件,如合成膜式、金属膜式、导电塑料和导电玻璃釉电位器等。 2.电阻应变式位移传感器 原理：当测量杆随试件产生位移时,弹性敏感元件在感受到测量杆变化而产生变形,并使附着其上的电阻应变计一起变形，其表面产生的应变与测量杆的位移成线性关系。 这种传感器具有线性好、分辨率较高、结构简单和使用方便等特点, 其位移测量范围较小, 通常在0 . 1 μ m-0.1mm 之间, 测量精度小于2%,线性度为0 .1%-0.5%。 电阻应变式位移传感器 图1 一种电阻应变式直线位移传感器 3.电容式位移传感器 4.电感位移传感器 原理：利用传感器线圈的电感变化来检测位移变化 电感位移传感器 分类：自感式和互感式 电感位移传感器 2）互感式 5.磁敏式位移传感器 磁敏式传感器包含有磁致伸缩式、霍尔式、磁栅式、感应同步器。 磁敏式位移传感器 磁致伸缩液位计测量容器液位示意图 磁敏式位移传感器 2）磁栅式 6.光电式位移传感器 光电式位移传感器包含有光栅式、光纤式、激光式 7.超声波位移传感器 各类传感器性能比较 各类传感器性能比较 参考文献 报告人：XXX XX年XX月XX日 位移检测技术简介 Content (目录) 发展状况 分类 性能比较 构成：测量杆、弹性敏感元件、电阻应变计、补偿电阻 和外壳。 图2 电容式位移传感器示意图 原理：电容传感器通过位移来改变电容两个极板之间的距离, 即将位移量转换成电容变化量进行测量的。 优点：功率小、阻抗高、动态特性好、可进行非接触测量等。 缺点：存在寄生电容和分布电容, 会影响测量精度, 且常用的变隙式电容传感器存在测量量程小, 存在非线性误差等缺点。 特点： 1）结构简单，工作可靠，寿命长，性能良好，适于恶 劣环境使用。 2)接触式测量； 3)频响不高，不适合高频测试 4)测量范围仅零点几毫米（测微仪） 5)线性度：0.5%，0.1%，0.05%，0.02%； 6)精确度：0.1μm~0.01μm,1nm 1）自感式 构成：线圈、铁芯、衔铁 原理： 衔铁随被测量上下移动时， 磁路磁阻随之变化，引起线 圈电感量变化，然后由测量 电路转换成与位移成比例的 电量输出。 类似变压器，但开磁路，两个次级线圈以差分方式工作，又称差分变压器。 1）磁致伸缩式 磁致伸缩线性位移(液位)传感器主要由测杆、电子仓和套在测杆上的非接触的磁环(浮球)组成。测杆内装有磁致伸缩线( 波导丝) 。工作时, 由电子仓内的电子电路产生一起始脉冲, 此起始脉冲在波导丝中传输时, 同时产生了一沿波导丝方向前进的旋转磁场。当这个磁场与磁环( 浮球) 中的永久磁场相遇时,产生磁致伸缩效应, 使波导丝发生扭动, 产生扭动脉冲。这一扭动脉冲被安装在电子仓内的拾能机构所感知并转换成相应的电流脉冲, 通过电子电路计算出两脉冲起始和返回之间的时间差, 即可精确测出被测的位置或位移。 磁栅式位移传感器是一种测量位移的数字传感器, 它是在非磁性体的平整面上镀一层磁性薄膜, 并用录制磁头沿长度方向按一定的节距K 录上磁性刻度线而构成的, 因此又把磁栅称为磁尺。磁栅可分为单面型直线磁栅、同轴型直线磁栅和旋转型磁栅等。 磁栅主要用于大型机床和精密机床的位置或位移量的检测元件。 激光位移传感器是基于激光光三角原理设计和制造的。 如图所示, 由半导体激光机发出波长为670nm 的激光光束, 经过发射光学系统后会聚在被测物体表面, 形成漫反射。该漫反射像经过接收光学系统后成像在CCD 上, 并被转换成电信号。当被测面相对传感器在Y 方向移动时, 漫反射像也将移动, 在CCD 光敏