材料分析测试方法第十五节电子显微镜的发展趋势资料.ppt

电子显微镜的发展趋势 一、电子显微镜的发展 二、现代电子显微镜 （1）高性能场发射枪电子显微镜日趋普及 场发射电子枪能够提供高亮度、高相干性的电子光源，能在原子（纳米）尺度上对材料的原子排列和种类进行综合分析。 九十年代中期，全世界只有几十台；现在已猛增至上千台。我国目前也有上百台以上场发射枪透射电子显微镜。 常规的热钨灯丝（电子）枪电子显微镜，分辨率最高只能达到 3.0nm；场发射枪电子显微镜，分辨率可以优于1.0nm，场发射高分辨透射电镜的分辨率达到0.2nm； 超高分辨率的扫描电镜，其分辨率高达0.5nm-0.4nm。 目前，JEOL的ARM-200F透射电镜分辨率可以达到0.08nm。 二、现代电子显微镜 （2）发展新一代单色器、球差校正器，以进一步提高分辨率 球差系数Cs：常规电镜的球差系数Cs约为mm级；现代电镜的球差系数已降低到Cs0.05mm。 物镜球差校正器：把场发射透射电镜分辨率从点分辨率提高到信息分辨率，即从0.19nm提高到0.12nm甚至于小于0.1nm。 聚光镜球差校正器：把STEM的分辨率提高到小于0.1nm的同时，聚光镜球差校正器把束流提高了至少10倍，非常有利于提高空间分辨率。 在球差校正的同时，色差大约增大了30%左右。 因此，校正球差的同时，也要同时考虑校正色差。 二、现代电子显微镜 （2）发展新一代单色器、球差校正器，以进一步提高分辨率 色差系数Cc：常规电镜的色差系数约为 0.7mm；现代电镜的色差系数已减小到0.1mm。 利用单色器（能量过滤器），能量分辨率将小于0.1eV，但单色器的束流只有不加单色器时的十分之一左右。因此利用单色器的同时，也要同时考虑单色器造成的束流减少的问题。 二、现代电子显微镜 （3）电子显微镜在纳米材料研究中的重要应用 由于电镜的分析精度逼近原子尺度，所以利用场发射枪透射电镜，用直径为0.1nm左右的电子束，不仅可以采集到单个原子的Z-衬度像，而且还可采集到单个原子的电子能量损失谱。即电镜可以在原子尺度上可同时获得材料的原子和电子结构信息。 当材料的尺度减少到纳米尺度时，其材料的光、电等物理性质和力学性质可能具有独特性。因此，纳米颗粒、纳米管、纳米丝等纳米材料的制备，以及其结构与性能之间关系的研究成为人们十分关注的研究热点。 利用电镜，一般要在200KV 以上超高真空场发射枪透射电镜上，可以观察到纳米相和纳米线的高分辨电子显微镜像、纳米材料的电子衍射图和电子能量损失谱。如，在电镜上观察到内径为0.4nm 的纳米碳管、Si-C-N 纳米棒、以及Li 掺杂Si 的半导体纳米线等。 二、现代电子显微镜 （3）电子显微镜在纳米材料研究中的重要应用 在生物医学领域，纳米胶体金技术、纳米硒保健胶囊、纳米级水平的细胞器结构，以及纳米机器人可以小如细菌，在血管中监测血液浓度，清除血管中的血栓等的研究工作，可以说都与电子显微镜这个工具分不开。 总之：扫描电镜、透射电镜在材料科学特别纳米科学技术上的地位日益重要。稳定性、操作性的改善使得电镜不再是少数专家使用的高级仪器，而变成普及性的工具；更高分辨率依旧是电镜发展的最主要方向。 二、现代电子显微镜 电子显微镜的发展趋势 物理学院 邢晓东 xingxd@课件保存于：cailiaofenxi2013@163.com 密码：xingxiaodong 电子显微镜的发展趋势 一、电子显微镜的发展 二、现代电子显微镜 三、 一、电子显微镜的发展 （1）电子的发现与晶体结构 电子显微镜的发展，可远溯自1897 年英国物理学家J.J. Thomson发现电子；发现磁场与电场对电子有偏折现象； 1912年von Laue发现X光衍射现象，经Bragg父子进一步发展，奠定X光的波动性和利用电磁波衍射测试晶体结构的方法； （2）两个重要的发现 1924年，法国科学家De Brogli提出物质波理论； 1926年，Schroedinger及Heisenberg等人发展量子力学，树立电子波粒二象性的理论基础。 经100kV加速的电子，其波长为0.0037nm。 电子既然有波动性，则应该有衍射现象；TEM等电子显微镜是量子力学发展的产物。 一、电子显微镜的发展 （2）两个重要的发现 德布罗意波的实验验证--电子衍射实验1 1927年，戴维森与革末（C.J. Davisson G.P. Germer）用电子束垂直投射到镍单晶，随着镍的取向变化，电子束的强度也在变化，这种现象很像一束波绕过障碍物时发生的衍射那样。其强度分布可用德布罗意关系和衍射理论给以解释。