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多晶硅制备技术及其研究进展 ／张 攀等 ·153 · 多晶硅制备技术及其研 究进展 张 攀 ，陈光辉 ，李建隆 ，姜晖琼。 (1 青岛科技大学机电工程学院，青岛 266063；2 青岛科技大学化工学院，青岛 266043； 3 青岛锅炉压力容器检验所，青岛 266071) 摘要 简述了国内外多晶硅生产工艺的发展和现状，介绍和比较 了各种多晶硅的制备方法在产能、能耗及环 境友好特性等方面的特点。介绍了多晶硅 CVD的原理、反应机理及其研究方法，综述 了流态化多晶硅 CVD的基本 原理、研究现状 以及存在的问题。分析表明：利用硅烷流态化技术最有希望降低多晶硅生产成本；数值模拟作为描述 CVD过程的重要手段需要进一步完善其模型，特别是对流态化 CVD过程，需要建立各种物理化学现 象的耦合作用 模 型。 关键词 多晶硅 流态化 化学气相沉积 中图分类