olt;,2gt;中α型射频放电的理论研究.pdfVIP

摘 要 在氧碘激光器及氧气放电等离子体的研究领域，射频放电已得到越来越多的关注 和应用。与其它放电方式相比，它没有腐蚀性，无污染，本身有着很高的稳定性和均 匀性。虽然研究人员在理论与试验两方面都取得了不少的进展，但就目前来讲，对它 的研究较多的受制于难以提高氧碘激光器的生成物即单重氧的产率，因此必须考虑进 行改进。 本文侧重于氧气中 α型射频放电的理论研究，是因为放电中能量消耗较低，激发 效率较高。文章说明了氧气放电中采用射频方式的优点；从理论上分析了激光器所用 的射频电源系统，分三个核心部分设计了射频源，对负载以及连接二者的阻抗匹配网 络也都进行了详细的论述与计算，对设计的激光器射频电源和气体负载连接进行了放 电验证的实验，并与连接直流电源作了对比，前者效果明显得多；结合容性射频放电 的基本特性，对采用平板结构的激光器氧气射频放电建立了理论模型，通过数值方法 求解后，分纯氧气、氧气和氩气的混合气体、氧气和氦气的混合气体三种情形讨论与 单重氧产率密切相关的放电等离子体特性，得到放电区域中电子数密度和电场的空间 分布，分析放电参数之间的关系为提高单重氧的产率提供理论依据；阐述了氧气分子 与原子的能级和谱线，对氧气激光等离子体放电，通过光栅光谱仪对等离子体放电进