《BMS500B型超高真空磁控溅射设备技术方案》.pdf

真空鍍膜製程設備與技術-- 先進表面工程科技 表面工程研究中心 明道大學 2009/11 Turn key solution from MDU Turn key solution from MDU 表面工程研究中心優勢 • 完整真空電漿製程技術所涵蓋之研究、教學、諮 詢與生產能量 • 電腦化真空製程設備之研製能力 • 超過五位以上之專家教授具有十年以上之工業與 研究經驗 技術轉移 • 真空技術與電漿製程 • 硬質鍍膜技術與功能性鍍膜方案 • 真空鍍膜設備與生產線規劃 先進真空鍍膜技術 機械加工產業關鍵技術 提昇機械性質硬度( ..) 關鍵機械零組件保護 切削刀具與成型模具 半導體與光電薄膜 無污染之綠色生產製 程與產品 先進真空鍍膜技術 Why coating? 高科技製程技術與高附加價值產品 Antireflex Coatings Main Application Fields of Coatings Decorative Wear Protection . . . . 先進真空鍍膜技術 利用高能量電漿快速製備各式先進真空鍍膜 表面工程研究中心專家成員 • 汪大永校長/教授 專長：陰極電弧沈積薄膜 ; 非平衡磁控濺射鍍膜 • 張奇龍副教授 專長：奈米薄膜沉積技術 ; 真空鍍膜系統設計 • 何偉友副教授 專長：表面工程 ; 熱處理; 功能性薄膜技術 • 翁克偉副教授 專長：離子植入技術 ; 非平衡磁控濺射鍍膜 • 張銀祐副教授 專長：硬質鍍膜技術 ;陰極電弧沈積技術; 薄膜 分析;真空鍍膜系統設計 • 侯永豐經理 • 吳文雄工程師 • 林孟春工程師 表面工程研究中心儀器設施 • 各式真空鍍膜與電漿製程設備 實驗 / 生產型工廠(多年 經驗自製研究型設備) • 高階薄膜分析儀器 高解析電子顯微鏡( ,高解析X 光繞射 儀 …) 表面工程研究中心研究成果與能量 製程技術 • 符合產業應用需求之硬質薄膜製程技術與 產品(2008/1~2009/9年共發表超過40篇國 際技術文獻～國內領先地位 ) DLC, Ti1-xAx lN… TiN The general purpose coating for: - cutting and forming tools - injection molding and dies