《传感技术及应用5磁电式传感器》.ppt

霍尔元件 磁栅的外形及结构 磁头与磁尺相对运动时的输出波形演示 鉴相型磁栅数显表的原理框图 磁栅测量系统 磁栅在磨床测长系统中的应用 第五章 磁电式传感器 数字钳型表 用途：主要用于大电流测量，可用于机械加工车间，工厂，及各种耗电量较大的任何场合。 4、霍尔元件在磁性材料研究上的应用 被测磁性物质 交流信号源 霍尔元件 示波器 电流表 磁化绕组 在磁性材料特性研究中，往往需要复杂的过程才能得到B-H曲线或磁场分布图。因为霍尔电压同铁芯磁化绕组的电流的关系VH=f (IM）同样反映了磁感应强度B与磁场强度H之间的关 系B=f (H)，所以可以直接用示波器来观察这个关系。 第五章 磁电式传感器 5、霍尔线性位移传感器 霍尔线性位移传感器 第五章 磁电式传感器 第五章 磁电式传感器 若令霍尔元件的工作电流保持不变，而使其在一个均匀梯度磁场中移动，它输出的霍尔电压VH值只由它在该磁场中的位移量Z来决定。图中3种产生梯度磁场的磁系统及其与霍尔器件组成的位移传感器的输出特性曲线，将它们固定在被测系统上，可构成霍尔微位移传感器。从曲线可见，结构（b）在Z2mm时，VH与Z有良好的线性关系，且分辨力可达1μm，结构（C）的灵敏度高，但工作距离较小。 几种产生梯度磁场的磁系统和几种霍尔位移传感器的静态特性 霍尔线性位移传感器原理 第五章 磁电式传感器 6、霍尔压力传感器 霍尔压力传感器由弹性元件，磁系统和霍尔元件等部分组成，如图所示。(a)的弹性元件为膜盒，(b)为弹簧片，(c)为波纹管。磁系统最好用能构成均匀梯度磁场的复合系统，如图中的(a)、(b)，也可采用单一磁体，如(c)。加上压力后，使磁系统和霍尔元件间产生相对位移，改变作用到霍尔元件上的磁场，从而改变它的输出电压VH。由事先校准的p～f(VH)曲线即可得到被测压力p的值。 霍尔压力传感器的构成原理 第五章 磁电式传感器 特点：磁栅价格低于光栅，且录磁方便、易于安装，测量范围宽可超过十几米，抗干扰能力强。 类型：磁栅可分为长磁栅和圆磁栅。长磁栅主要用于直线位移测量，圆磁栅主要用于角位移测量。 组成：磁栅传感器主要由磁尺、磁头和信号处理电路组成。 §5-2 磁栅传感器简介 磁尺 静态磁头 去信号处理电路 固定孔 第五章 磁电式传感器 第五章 磁电式传感器 磁尺与磁头接触，使用寿命 不如光栅，数年后易退磁。 设置两个磁头的 意义何在？ 第五章 磁电式传感器 哈尔滨工业大学 第五章 磁电式传感器 第七章 磁传感器 磁是人们所熟悉的一种物理现象，因此磁传感器具有古老的历史。最简单的把磁转换成电的磁传感器就是线圈，根据电磁感应定律，在切割磁通的电路里，产生与磁通相变化速率成正比的感应电动势。 现代的磁传感器已向固体化发展，它是利用磁场作用使物质的电性能发生变化的各种物理效应制成的，从而使磁场强度转换为电信号。 磁传感器的种类较多，制作传感器的材料有半导体、磁性体、超导体等，不同材料制作的磁传感器其工作原理和特性也不相同。 第五章 磁电式传感器 §5-1 霍尔传感器 霍尔传感器是利用霍尔元件基于霍尔效应原理而将被测量，如电流、磁场、位移、压力等转换成电动势输出的一种传感器。 一、霍尔效应 霍尔效应是导电材料中的电流与磁场相互作用而产生电动势的物理效应。 置于磁场中的静止载流体中，若电流方向与磁场方向不相同，则在载流体的垂直于电流与磁场方向所组成的两个侧面将产生电动势。这一现象为美国物理学家爱德文·霍尔于1879年发现，称为霍尔效应，相应的电动势称为霍尔电势。 第五章 磁电式传感器 b d VH I l B v F′ F － ＋ ＋ － 称为霍尔系数，它是由基片材料的物理性质决定常数； 灵敏度系数，表示在单位磁感应强度和单位控制电流时的霍尔电势大小。 当磁场感应强度B和霍尔片平面法线成角度θ时, 霍尔电势为： 第五章 磁电式传感器 设为N型半导体， 载流子为电子。 霍尔式传感器是利用霍尔元件基于霍尔效应原理而将被测量，如电流、磁场、位移、压力等转换成电动势输出的一种传感器。 优点：结构简单，体积小，坚固，频率响应宽，动态范围大,无触点,使用寿命长,可靠性高,易微型化和集成电路化。 不足：温度影响大，要求转换精度较高时必须进行温度补偿。 第五章 磁电式传感器 砷化钠霍尔器件温度系数小，灵敏度高，线性度好，温漂小，稳定性高，体积小 第五章 磁电式传感器 二、霍尔片主要技术指标 1、额定激励电流 IH 使霍尔片温升10℃所施加的控制电流值。 （限制额定激励电流的主要因素是散热条件） 2、输入电阻 Ri