3.4 电容式传感器要点.pptVIP

* 优 点： 采用直流电源，其电压稳定度高 不存在稳频、波形纯度的要求 也不需要相敏检波与解调等 对元件无线性要求 经低通滤波器可输出较大的直流电压 对输出矩形波的纯度要求也不高 * 3.4.6 电容式传感器的应用 (1) 电容式差压传感器 (2) 电容式加速度传感器 (3) 电容式振动位移传感器 Capacitor * P 2 玻璃盘 镀金层 金属 膜片 C 2 电极引线 p 1 C 1 电容式差压传感器 结构简单、灵敏度高、响应速度快(约100ms) 能测微小压差(0～0.75Pa)、真空或微小绝对压力 需把膜片的一侧密封并抽成高真空(10-5Pa)即可 * 高压侧进气口 低压侧进气口 电子线路位置 内部不锈钢膜片的位置 电容式差压变送器 * 各种电容式差压变送器外形 * 法兰 * 2 3 1 B 面 A 面 5 4 6 C x 1 C x 2 1、5 －固定极板 2－壳体 3－簧片 4 －质量块 6－ 绝缘体 精度较高，频率响应范围宽，量程大，可以测很高的加速度 电容式加速度传感器 * 硅微加工加速度传感器 图示加速度传感器以微细加工技术为基础，既能测量交变加速度（振动），也可测量惯性力或重力加速度。其工作电压为2.7～5.25V，可输出与加速度成正比的电压，也可输出占空比正比于加速度的PWM 脉冲。 * 微加工三轴加