光外差探测系统资料.pptVIP

干涉测量基本原理：改变干涉仪中传输光的光程而引起对光的相位调制，从而表现为光强的调制。测量干涉条纹的变化即可得到被测参量的信息。 干涉条纹是由于干涉场上光程差相同的场点的轨迹形成。 可进行长度、角度、平面度、折射率、气体或液体含量、光学元件面形、光学系统像差、光学材料内部缺陷等几何量和物理量的测量。 1） 激光干涉测长的基本原理 系统组成： (a)激光光源 (b)干涉系统 (c)光电显微镜 (d)干涉信号处理部分 位移 2）激光干涉测长仪的光路设置 1.激光器 2.透镜 3.小孔光阑 4.透镜 5.反射镜 6.反射棱镜 7.位相板8.角锥反射棱镜9．分束镜10.角锥反射棱镜 11.透镜 12. 光阑 13.光电探测器 14. 透镜 15.光阑 16.光电探测器 干涉光路的设置 3）干涉信号的方向判别与计数 误差原因：外界干扰因素的影响，使测量镜在正向移动过程中产生一些偶然的反向移动。单纯计数，测量结果是正反移动的总和。 解决方法：判别计数。当测量镜正向移动时所产生的脉冲为加脉冲；反之为减脉冲 。 判向计数： 正向移动： 正向：1?3?2?4 同理可得 反向：1?4?2?3 位移长度为： 2、光外差通信 光外差通信基本上都是采用CO2激光器做光源，光发射系统及接收系统两大部分组成。 发射系统： 稳频原理: 发射波长增加，光通量亦增，输出电压增大，压电陶瓷使腔长缩短，发射频率