声表面波传感技术资料.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 3. 压电介质中的Christofel方程 各种SAW问题的解都是从上述公式出发，结合各个问题的对称性和边界条件来求得。 * 4. 声表面波特性的理论分析（258） 声表面波特性的理论分析就是根据给定的材料常数（包括弹性常数、压电常数、介电常数、密度、热膨胀系数及其相应的一阶和二阶温度系数常数）按Christofel方程和边界条件来计算某个切向条件下的声表面波速度(包括自由化表面和金属化表面)、机电耦合系数（K2）、能流角（PFA）、延时温度系数（TCD）等特性参数，这是进行SAW器件设计的基础和出发点。 * * 8.4 声表面波传感器技术 工作原理： 利用外界物理量（如温度、压力等）的变化引起声表面波的传播特性发生变化的原理来敏感被测量。 结构型式 * SAW传感器一般采用振荡器电路形式，其中SAW振荡器是传感器的核心。SAW传感器的基本工作原理就是利用了SAW振荡器这一频控元件受各种物理、化学和生物量的作用而引起振荡频率的变化，通过精确测量振荡频率的变化，从而实现检测上述物理量及化学量变化的目的。 移相器 匹配网络 SAW振荡器 放大器 匹配网络 声表面波振荡电路 Schematic of SAW oscillator circuit * SAW振荡器通常有延迟型（SAWD）和谐振型（SAWR）两种结构 . SAWD由两个叉指换能器（IDT）的中心距决定相位反馈，由IDT的选频作用和反馈放大器产生固定频率的振荡。其振荡频率为： * （a）单端对谐振器 （b）双端对谐振器 SAWR由左右两个反射栅阵列构成谐振腔，声表面波在两个反射栅之间来回反射、叠加、共振形成驻波。对于叉指间隔和反射栅指条间隔均匀分布的SAWR，谐振型振荡器的振荡频率为： SAWR器件的品质因数Q值高、插损小，由于Q值是决定振荡器频率稳定性的重要参数之一，因此这种高Q值谐振器结构可以进一步提高SAW传感器灵敏度和分辨率。 * 任何量只要能引起 、 或 发生变化，就会使SAW振荡器的振荡频率发生变化。通过振荡电路检测出振荡频率的变化就可以建立起频率偏移与待测量之间的关系。 若在两又指电极或反射栅之间徐覆一层对某种气体或湿度敏感的材料就可制成SAW气体或湿度传感器。 * 无源遥测是SAW传感器的一大优势，从结构上看，无线SAW传感器也可分为延迟型和谐振型两种，但工作原理不同于一般的SAW传感器，以延迟型为 例，传感器由压电基片、叉指换能器、反射栅及读写器（高频激励∕接收装置）组成。工作时读写器发射出脉冲激励信号，由敏感基片的天线接收无线信号，并通过IDT将电磁信号转换为声表面波。声表面波经过一段延迟后由反射栅反射回来，再通过IDT将信号转换为电磁波信号，并经天线发射出去，再由读写器接收处理。 * 脉冲信号从发射到接收的返回时间主要由读写器与IDT天线的距离、IDT与反射栅之间的距离以及声表面波波速来决定，即脉冲信号从读写器发射到回收的传播时间为： 在遥测时，读写器与敏感基片之间距离的变化也会引起传播时间的变化，为解决这一问题，在基片上设置多个反射栅，反射栅之间的时延只反映器件本身的状态，而不受读写器与敏感基片之间距离的影响。在实际测量中，由于时延值非常小，常采用测量相位的方法来代替对时延的测量 * 如果相应位置上的反射栅被布置或抽取，则该位置上的脉冲可表示编码“1”或“0”，相同结构的器件就变成了用于目标辨识的SAW标签（ID-Tag）。虽然目前SAW辨识标签没有随时改写的功能，但与其它类型的辨识标签相比，具有误码率低、读取时间快、作用距离远、不受光遮盖和读取方向影响、可在金属液体表面读取等优点，因而SAW标签是对IC射频标签的一个有力补充。 SAW传感器信号检测p261 * 压力信号 SAW振荡器1 SAW振荡器2 低通滤波器 放 大 器 频率测量 微处理器 混频 输出 图7-10 SAW传感器信号检测与处理电路框图 被测量环境温度 SAW传感器信号检测p262 * SAW传感器信号检测 * 图7-12 正交相位检波原理 SAW传感器的温度补偿 * 一 选择零温度系数切型 二 差动法 三 数字补偿法 四 浮动零点法 * 到日前为止，已经研制出的SAW传感 器，归纳起来可分为三大类： 1 物理量传感器： 力(压力、应力)传感器、扭矩传感器、加速度传感器、 角