晶体硅太阳能电池生产线清洗制绒工序详解.pptVIP

confidential confidential 晶体硅太阳能电池生产线 清洗制绒工序培训 王大男 光伏电池评测中心 目录 1、清洗制绒的作用及方法； 2、清洗制绒的工艺设备及操作流程； 3、主要检测项目及标准； 4、常见问题及解决方法； 5、未来工艺的发展方向； 1、清洗制绒的作用及方法 太阳电池生产流程： 清洗制绒 扩散 去PSG 印刷 刻蚀 PECVD 硅片 烧结 电池 电池生产线 硅片生产线 组件生产线 清洗制绒作为太阳电池生产中的第一道工序，其主要作用有两个： 损伤层 1）祛除硅片表面的杂质损伤层：损伤层是在硅片切割过程中形成的表面（10微米左右）晶格畸变，具有较高的表面复合。 2）形成陷光绒面结构：光线照射在硅片表面通过多次折射，达到减少反射率的目的。 绒面制作方法： 目前，晶体硅太阳电池的绒面一般的是通过化学腐蚀的方法制作完成，针对不同 的硅片类型，有两种不同的化学液体系： 1、清洗制绒的作用及方法 2）多晶硅绒面制作： 多晶硅绒面 单晶硅绒面 1）单晶硅绒面制作： Si+2NaOH+H2O →Na2SiO3 +2H2↑ 此反应为各向异性反应，也是形成金字塔绒面的原因 3Si+4HNO3 →3SiO2+4NO+2H2O SiO2+4HF→SiF4+2H2O SiF4 +4HF→