2009材料分析测试技术课件第十二章.pptVIP

第十二章 扫描电子显微镜 §12-1 电子束与固体样品作用时产生的信号 12-2 扫描电子显微镜的构造和工作原理 12-3 扫描电子显微镜的主要性能 12- 4 表面形貌衬度原理及其应用 12-5 原子序数衬度原理及其应用 * * 12-1 电子束与固体样品作用时产生的信号 12-2 扫描电子显微镜的构造和工作原理 12-3 扫描电子显微镜的主要性能 12-4 表面形貌衬度原理及其应用 12-5 原子序数衬度原理及其应用 扫描电子显微镜的成像原理和透射电子显微镜完全不同。它不用电磁透镜放大成像，而是以类似电视摄影显像的方式，利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。新式扫描电子显微镜的二次电子像的分辨率已达到3～4nm，放大倍数可从数倍原位放大到20万倍左右。由于扫描电子显微镜的景深远比光学显微镜大，可以用它进行显微断口分析。用扫描电子显微镜观察断口时，样品不必复制，可直接进行观察，这给分析带来极大的方便。因此，目前显微断口的分析工作大都是用扫描电子显微镜来完成的。 由于电子枪的效率不断提高，使扫描电子显微镜的样品室附近的空间增大，可以装入更多的探测器。因此，目前的扫描电子显微镜不只是分析形貌像，它可以和其它分析仪器相组合，使人们能在同一台仪器上进行形貌、微区成分和晶体结构等多种