《磁控溅射讲义》.pdf

材料研盟是为方便材料及相关领域的科研人员进行科研讨论而由志同道合网友 设立的非营利性群组。该研盟设置几大群组，涉及材料研讨的各个方面。 群简介 （主群：材料研盟； 分群： N 个） 群名称 号码 研讨内容* 材料研盟 （内部群） 为材料群组讨论提供技术及组织协助 材料研盟 A 材料物理，材料化学，材料学， （大材料） 材料研盟B （测 材料测试技术, 包括 试） 显微结构测试：XRD, GIXRD, TEM, HRTEM, XPS, SEM, EDX, AFM, FTIR, TGA, ….. 性能测试：力，电，热，光，磁，…. 材料研盟C （薄 薄膜及制膜技术，表面与界面 膜） 材料研盟 C2 欢迎研究真空、表面、涂层及薄膜材料的朋友加入！ （薄膜） 材料研盟 D 材料加工工程，铸造，锻压，热处理，焊接，粉末冶金 （加工） 材料研盟E （无 无机非金属材料，陶瓷基复合材料，水泥基复合材料及 机非金属材料） 非晶玻璃等 材料研盟F (功 各种功能材料：高温超导材料、磁性材料、功能高分子 能材料) 材料、磁性形状记忆合金材料等 材料研盟 G 4476698 低维纳米材料 （低维纳米） 材料盐盟H ( 电 固体氧化物燃料电池； 池材料) 锂离子电池 session 加入 群（教室），请同时保留现有群号。因 为教室作完一个seminar 后，清场。 如果注册不能参加，请自动退群，否则，以后进入黑名 单。 cylmqq@56.co 群组共享资料库 1 ．申请一个56.com 账号（ ） m 2 ．登陆你所申请的信箱 3 ．点击“共享资源Beta ” 4. 共享查看，输入 clymqq, 即可察看群共享资料 1 磁控溅射制备纳米复合薄膜材料 主讲：狂澜） 2006年4月18号 目录 1 纳米复合薄膜 – 概念 – 应用 – 市场 2 磁控溅射 – 原理 – 设备 – 真空控制 3 显微结构及形貌控制 4 当前发展趋势 纳米复合薄膜 a-SiN matrix x nc-TiN