3薄膜的制备3PLD.pptVIP

* * * Zn1-x-yVxAlyO (x=10%; y=0.1%) no O2 * * * zinc oxide nanowire * PLD制备薄膜的缺点 与缺点的克服 PLD 优点：设备简单、能源干净 易于控制、保持成分 缺点：膜厚不均、存在颗粒 * 1、减少、减小颗粒 产生颗粒的原因： 1、激光在熔融靶材时，产生颗粒； 2、原子分子在向衬底飞行的过程中结合成颗粒； * 方法： 1、采用短波长、短脉冲的激光； 2、选择合适的激光功率密度； 3、合理放置衬底，避开颗粒飞行路径； 4、用速度过滤的方法，滤掉颗粒； 对于：1、激光在熔融靶材时，产生颗粒； * 对于：2、原子分子在向衬底飞行的过程中结合成颗粒； 方法：减少粒子碰撞结合的几率 选择适当的衬底—靶间距离； 适当的背景气压。 * 2、改善薄膜的均匀性 在充分理解激光产生的等离子体的分布和膨胀过程的基础上，合理设计激光对靶的扫描、衬底的运动，衬底与靶的距离等等相关因素。 * 论文题目 1.1、详细叙述用MBE制备GaN发光器件的方法； 1.2、设计用PLD法制备GaN的方案； 2.1、详细叙述用CVD法制备碳纳米管的方法； 2.2、设计用PLD法制备碳纳米管的