扩散炉培训讲解.pptVIP

1.进舟时保证净化风机开启。 2.温控仪没有工艺人员允许严禁乱调。 3.控制柜面板上的“消声”按钮是当系统出现故障，发出声光报警后，按下它，蜂鸣器便不再发声；但此时并不表示故障已经解除，必须在排除故障后将其松开。正常运行时，保证消声按钮是弹起的。 4.急停按钮是当进、出舟过程中出现意外时，手动停止用的，在正常工艺时，请注意保持该按钮不要按下。 1.26使用中的注意事项 扩散—太阳能电池制造核心工序 5. 桨的位置调好后，基座上下、前后以及端头的俯仰调节螺钉均不得再随意调动，否则在进出舟过程中极易造成石英挡板以及硅片的损坏，严重的还会直接损坏石英管和桨。 6.石英炉门与桨的接触部位请定期进行清洗，防止由于工艺残留物堆积使得滑动不畅造成石英门损坏。运行工艺时必须摇动挡板。 7.主送气管道在清洗石英管接入设备之前应先排空，通入纯净高压气体吹洗干净，否则管道内的不洁净物质会引起气动阀关闭不密封以及造成过滤器和质量流量控制器的堵塞及损坏。 1.27使用中的注意事项 扩散—太阳能电池制造核心工序 8.压缩空气、 高纯N2 、高纯O2等各种气体进气压力设定值（气源柜减压阀表读数）均应调在0.3～0.4Mpa 之内，太小会使得气动阀难以开启以及质量流量控制器流量显示不稳定，太大则有可能损坏过滤器及质量流量控制器。 9. POCL3扩散源具有极强的腐蚀性，如果磷源洒在了恒温槽内，应马上拔下恒温槽的电源插头，将槽内的水倒掉并清洗干净，否则会造成恒温槽内的致冷铜管因受腐蚀而穿孔。 1.28使用中的注意事项 扩散—太阳能电池制造核心工序 设备外壳一定要有良好的接地。 出现故障时必须先切断电源再分步检查，严禁在未弄清故障原因的情况下带电检测。 当系统出现报警时，必须在彻底排除故障后，方可重新开机。 运行工艺过程中，炉口废气室及源柜的排气口，一定要与排风系统相通，保证抽气排毒畅通。 1.29设备的安全使用 扩散—太阳能电池制造核心工序 5 对超温保护系统应作定期检查，看是否工作可靠。如果晚上设置自动保温，要求设置的最高报警温度小于1120℃，在进入自动保温前应先测试一下超温保护系统是否灵敏可靠。 6、气柜下方是380V电压，打扫时一定要小心，谨防水和其他导电的物品落入下方。引起短路和人员伤害。 1.30设备的安全使用 扩散—太阳能电池制造核心工序 1.31使用保养 保持净化台面的清洁卫生。 检查恒温水槽是否稳定在设定温度，有无报警。 工艺运行前，检查石英挡板、石英门是否完好。 定期清理废气室排出的偏磷酸（每月）。 定期检查恒温水槽冷却水的水质，必要时更换（每月）。 定期清理净化滤网，保证净化台的洁净度（每月） 。 保持气柜干净，检查各阀件、三通、四通等密封性。 进退舟期间检查丝杠是否灵活，有异响。 扩散—太阳能电池制造核心工序 二、四探针测试仪及注意事项 四探针测试仪由两部分组成。左边是显示设备，用于运算数据和显示。右边是测试设备，用于硅片的检测。 扩散—太阳能电池制造核心工序 2.1四探针测试仪后面板 输出端 PC接口 保险丝 开关 电源 扩散—太阳能电池制造核心工序 2.2测方块电阻作业 1. 调整测试电流： 使“R□”、“I”、“EXCH. 1”显示灯亮，将电流档位0.1mA调至10mA，将待测量的硅片取出放在测试台上（扩散面向上），按下降按钮，使针头平压在硅片上（四针平齐），校准电流，调整电流值为4.530mA。（根据硅片尺寸规格进行调整）。 2. 测量方块电阻： 将“I”的指示灯切换至R□/ρ档，读取稳定值，并记录在电池生产记录中， 重复以上步骤（注意炉里、炉中、炉口加以区分。 3.判断是否返工 根据规定的工艺要求判断是否要返工，并及时调节扩散的温度。将测试完的硅片卸到承载盒中，测量过程完毕。 扩散—太阳能电池制造核心工序 方块电阻：扩散层的薄层电阻也称方块电阻，常用Rs或R口表示。所谓薄层电阻，就是表面为正方形的半导体薄层在电流方向上所呈现的电阻。 金属导体的电阻公式 R=ρl /s，与之类似， 薄层电阻的大小为： Rs=ρl / at，如右图： 当l=a即为一个方块时：　 Rs=ρ/t 2.3四探针工作原理 扩散—太阳能电池制造核心工序 这就是我们常用的四探针针头，它由钨钢制造，四根针分别连接着设备内部的四个接口。其中1针和4针测试时通过电流。2针和3针测试时通过电压。数值输入进设备后经过计算，由显示屏显示出来 2.4四探针探头 扩散—太阳能电池制造核心工序 三、石英管清洗机 扩散—太阳能电池制造核心工序