微电机研究的最新动态与应用展望要点.pptVIP

微电机研究的最新动态与应用展望 詹琼华 教授、博士生导师 2003,10 微电机的基本特征和主要类型 微电机的国内外研究现状 微电机的应用前景 微电机研究面临的问题和发展趋势 微电机的基本特征 1.微型化 微型化途径: 一条是驱动原理和结构沿袭已有的中小电机，并加以微型化 如磁盘驱动、摄像机、电动玩具以及办公自动化机器中的步进电机和直流电机 一条是采用新的功能材料开发新的驱动原理，制作成各种结构型式的微电机。如压电超声电机、静电电机以及利用形状记忆合金、超磁致伸缩器件、层叠式压电振子、人工肌筋等开发的各种微驱动器。 微电机的基本特征 2.微电机兼有驱动和精密控制双重功能， 驱动可以是直线、旋转或多自由度的； 控制目标可以是位置、速度或力(力矩)。 3.基本的性能要求： 在体积小重量轻的前提下，能产生较大的 运动位移量，并输出较大的功率； 功耗小； 控制精度高、响应快。 微电机的主要类型 静电式 电磁式 超磁致伸缩式 压电形状记忆合金式 仿生电机、光热电机等. 静电式和电磁式的转子／定子间为非接触驱动； 形状记忆合金式为直接驱动； 压电式和超磁致伸缩式为接触式驱动，并具有保持力。 微电机的国内外研究现状 1.静电电机:利用电场和电荷之间的动力的一种电机. 应用实例是使用显微镜进行手术 2.电磁微电机:在cm—mm级电机中电磁电机享有优势地位。 主要特点--是可以低电压驱动，与电子电路匹配良好，可以利用成熟的技术和工艺等. A.微型步进电机 图1为CAM39型(直径3．9mm)的截面示图。 其结构设计十分巧妙，两个线圈夹持作为转子的永久磁铁的两端，左右定子做成叉形，并形成步进电机所需的磁极，用非磁性材料壳体固定。两端定子的磁化相位相差半步，交替切换供给两端定子线圈的电流方向，形成旋转步进磁场，使转子旋转. 直径6mm的CAM60型用于Cannon数码相机的镜头驱动. B.轴向间隙型电磁微电机 日本富士电机综合研究所提出的电磁微电机 采用轴向间隙方式，用平面式层叠薄膜绕组线圈，很好地解决了微细线圈的加工工艺要求很高，难以大批量加工的困难。转子厚2.5 μ 用薄型4极磁化的稀土类磁铁用溅射膜工艺制作，与此配对的是6极的薄膜定子。 此外，日本还开发了可以利用外部磁场实现无线驱动的微电磁电机。其定子与动子可完全分离，动子上不带电源，因此,动子部分可以做得很小(2mm以下)且无需携带电源，特别适用于在人体内移动。 C.端面摇摆式电磁微电机 定子和转子的工作面分别由锥角不同的锥面构成，转子在定子产生的旋转磁场作用下，沿定子内锥面做纯滚动。同时转子轴输出一个与滚动方向相反的转动。弹性联轴器将此旋转运动耦合输出，而将转子的微小摆动吸收掉。 采用锥面的好处是，扩大磁场作用空间和电磁力，同时通过所形成的行星减速传动模式来实现低速大扭矩的输出特性。 D.压电微电机 以微变形方式作点动驱动的压电微驱动器 超声波式压电微电机:它既可以做成旋转的也可以做成直线的,它是利用共振生成行波或驻波的原理 蠕动式电机:结构非常简单，非常适合于微电机。其原理是利用组合成箝位结构，如图4所示. 主要问题是响应慢，功耗较大，需要多个器件组合驱动。目前主要用于高精度定位台驱动 惯性式压电微电机:是利用惯性停／滑原理的惯性式电机。 蠕动式电机 图5为日本美能达(Minolta)公司于1999年推出了一种微型的叫做平滑惯性驱动机构(SIDM)的惯性式直线电机。 其结构为导轨与叠层压电振子相连，对振子施加锯齿波形电压，使导轨产生往复不等速振动。当导轨慢速向前运动时，滑块因摩擦锁住而随之运动，当导 轨高速返回时，滑块惯性力克服摩擦力而产生相对运动，向前走了一步。 采用叠层压电振子的好处是：功率体积比大，低电压驱 动(6V)无需升压电路。 美能达公司将其应用到中7mm镜头的数码相机驱动 与以往不同的是，它把激励元件放到了导轨上，移动件仅仅是一个很小的无源滑块，占用空间极小，运动精度高，又有自锁性。 上海大学微机械技术研究中心正在研究开发一种基于波动学原理的可置于医用和工业用内窥镜中的 超细型直线微电机。 压电超声波微电机是利用压电元件激励出定子的超声频域共振，并利用摩擦变换成转子的机械能加以输出的。 现在超声波电机正朝着两个方向发展，一是提高功率、提高输出力(力矩)；另一是微型化。 日本精工仪器公司在石英式手表上应用了直径4．5mm厚2．5mm的钮扣型超声波电机。最近该公司为它配上了专用的微编码器，将 应用扩展到高精度位置控制领域，以解决微型电磁步进电机分辨率较低的问题 佳能相机在大镜头上使用了Φ11mm的棒形超声波电机. 目