硅基波导慢光器件及其应用.pdfVIP

物理学和高新技术 硅基波导慢光器件及其应用* 胡应涛 李运涛 李智勇 俞育德 余金中昄 暋暋 暋暋 暋暋 暋暋 (中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室 北京 ) 暋 暋 暋100083 , 摘 要 硅基波导慢光器件是构建全光智能互连和实时高速测控等下一代信息技术的关键器件 在光通信和光信 暋 暋暋 息处理等诸多领域具有显著的技术优势和巨大的应用潜力 随着器件结构的不断创新以及微电子制造技术的不断升 . , , 级换代 硅基波导慢光器件愈来愈走向实用化 文章介绍了慢光