氧化物薄膜研制中的电子能谱技术.pdfVIP

实验技术 氧化物薄膜研制中的电子能谱技术! 郭! 沁! 林4 （中国科学院物理研究所! 北京凝聚态物理国家实验室! 北京! 5%%%6% ） 摘! 要! ! 随着科学技术的不断发展，人们正在寻求更新的实用材料- 金属氧化物，包括金属氧化物薄膜的各种实用 材料，在工业界、信息产业界和能源开发等方面的应用前景，早已引起国内外学者的极大关注- 例如，由于氧化物具有 各种特殊的介电和光学性质，研究和开发基于氧化物薄膜的气敏材料非常热门- 如何制备出有实用价值的各种薄膜 材料，是科学家们一直关心和深入研究的课题- 电子能谱技术在各种材料的基础研究和实际应用中起着重要的作用- 本文以有序金属氧化物薄膜研制为例，简要评述了电子能谱技术（包括7 射线光电子能谱（789 ），紫外光电子能谱 （:89 ），俄歇电子能谱（;9 ）和高分辨电子能量损失谱（=?9 ）），以及低能电子衍射（?@ ）等技术在氧化物薄膜 材料制备和表征中的应用- 关键词! ! 氧化物薄膜，薄膜材料，电子能谱，俄歇电子能