GaN基异质结构效应晶体管功率器件.pdfVIP

前沿进展 !# 基异质结构效应晶体管功率器件! ! ! ! # 张志国 李 丽 杨瑞霞 杨克武 （! 河北工业大学信息工程学院 天津 $%% !$% ） （ # 中国电子科技集团公司第十三研究所 石家庄 %%%! ） 摘 要 文章从晶体结构和微电子学理论出发，介绍了’() 基异质结构效应晶体管（*+,- ）的极化效应，二维电 子气（#.,’ ）的源、产生，极化对#.,’ 的影响以及提高#.,’ 浓度的方法；列举了三种典型的电流崩塌效应，介绍 了其成因和抑制的方法，并对各种方法进行了比较；阐述了栅极场调控电极对’() 基器件电参数的影响，解释了提 高器件击穿电压的原理，并对场调控电极对器件功率特性的影响进行了说明，从