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25 卷 19 期 中 国 电 机 工 程 学 报 Vol.25 No.19 Oct. 2005 2005 年10 月 Proceedings of the CSEE 2005 Chin.Soc.for Elec.Eng. 文章编号：0258-8013 （2005 ）19-0116-06 中图分类号：TM352 文献标识码：A 学科分类号：47040 开关磁阻式平面电动机及其控制 1 2 2 杨金明 ，张 宙 ，潘剑飞 1．华南理工大学电力学院，广东省 广州市 510640；2．香港理工大学，香港） THE CONTROL OF THE SWITCHED RELUCTANCE PLANAR MACHINE 1 2 2 YANG Jin-ming , Norbert C. Cheung , PAN Jian-fei （1. South China University of Technology, Guangzhou 510641, Guangdong Province, China; 2. Department of electrical engineering, Hong Kong Polytechnic University, Hong Kong, China ） ABSTRACT: This paper presents a novel 2D switched 关键词：开关磁阻；直接驱动；平面电动机；自抗扰控制 reluctance (SR) planar motor. The planar motor can drive the 1 引言 X -Y table directly. It is decoupled between the X -axis and Y-axis owing to the special structure. This feature enables that 许多先进的工业加工与制造领域中，如机械加 the motion control of 2D planar motor can be reduced order to 工、电子产品生产、机械装卸、制造自动化仪表设 the motion control of two linear motor. The auto disturbance 备、甚至机器人驱动等，都需要高速和高精度的平 rej ection controller (ADRC) is applied to control the speed of 面运动控制。传统方法是以旋转式电动机产生动力 2D planar motor. The disturbance is observed through the 驱动，再由机械装置，如皮带、滚珠丝杆等，转换 expending state observer (ESO) and is compensated by the 为直线运动或平面运动。复杂机械装置的惯性和制 nonlinear state error feedback control law (NLSEF). The force 造精度，使这种结构的传动精度和速度都要受到限 distribution function is used in the design of controller and