椭偏法测量薄膜的厚度和折射率-闫祥解.pptVIP

椭偏仪测量薄膜厚度和折射率 上海师范大学 数理学院 闫爱民 近代物理实验 一、背景介绍 二、实验目的 三、实验仪器 四、实验原理 五、实验内容与步骤 六、思考题与讨论题 内 容 提 要 一、 背 景 介 绍 1、薄膜的分类：透明介质膜和金属膜。 2、薄膜的光学与几何特征参数为n，d 。 n为薄膜复折射率, n＝N-ik 透明介质膜，无吸收(k=0)，其折射率为实数。 d为薄膜的厚度。 3、常见测定薄膜光学参数的方法：布儒斯特角法，干涉法、称重法、X射线法、电容法、椭偏法等。 4、椭偏法测量的优点：精度高，灵敏度高，无 破坏性等。在光学、半导体学、生物学、医学等诸多领域已得到广泛应用。 二、实验目的 了解椭偏光法测量原理和实验方法。 熟悉椭偏仪器的结构和调试方法。 测量介质薄膜样品的厚度和折射率。 椭圆偏振法是利用被测样品表面对椭偏光的反射特性来测量样品的光学常数。 是一种先进的测量薄膜纳米级厚度的方法。 思考题与讨论题 写出椭偏方程及各参数的物理意义？ 1/4波片的作用是什么？ 入射光为什么为等幅偏振光，实验中如何获得？ 反射光为什么为线偏振光，实验中如何获得？ 复习思考题： 1）简述椭偏法的测量原理，各主要光学部件的作用是什么？ 2）简述椭偏仪测量薄膜厚度的实验步骤。 三、实验仪器 SGC-1型椭圆偏振测厚仪，如图 所示。 四、实验原理