机械设计毕业设计 文献翻译 外文温度控制.docVIP

外文资料翻译 学 院： 机械工程学院 专 业： 机械设计制造及其自动化 附件1：外文资料翻译译文 光刻投影镜头多闭环温度控制系统 2天华学院，上海师范大学，上海201815，中国2008年27日收稿 2009年1月8日修22日定稿； 2009年2月6日电子版图像质量是光学光刻工具的最重要指标之一，受温度振动和投影镜头（）污染。本地温度传统方法更容易引入振动和污染，多闭环PL内温度，并隔离振动和污染。一个新的远程间接控制（）方，提出了冷却水。嵌入温度单元（）加热器和冷却器冷却水的温度以一种包一个级联结构（CCS）和并行联结构新多控制结构防止大惯性，，一种非线性比例积分（PI）的算法应用，进一步提高收敛速度和控制过程精度。不同的控制回路和算法的对比实验结果表明，精度达到0.006规格多闭环温度控制系统收敛，鲁棒性强该方法已成功地应用于光学光刻工具，制作了（CD）100纳米的，其令人满意。关键词：投影镜头，远程间接温度串级控制结构，并行串控制结构，非线性比例积分（PI）的算法简 介由于集成电路缩小，更小的临界尺寸（CD）要求，生产的控制越来越严格。作为最重要的制造设备，先进的光学光刻工具需要更的微控制环境，严格控制其温度洁净度气压湿度等温度波动，特别是导致图像失真平