集成电容式传感器边界电极的静电电容值分析.pdfVIP

第６期 电 子 学 报 Ｖｏｌ．３８ Ｎｏ．６ 年 月 ２０１０ ６ ＡＣＴＡＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｊｕｎ． ２０１０ 集成电容式传感器边界电极的静电电容值分析 ， １２ １ １ 王 阳 ，陈军宁 ，柯导明 （ 安徽大学电子科学与技术学院，安徽合肥 ； 浙江万里学院电信学院，浙江宁波 ） １ ２３００３９２ ３１５１００ 摘 要： 本文研究一种梳齿电极结构的集成电容式传感器，利用保角变换对其边界电极的静电电容值情况进行 推导，给出了边界电极电容值的解析表达式，并利用 软件对其进行仿真验证