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3.4 电容式传感器 3.4.1 电容式传感器的工作原理极其特性 3.4.2 测量电路 3.4.3 电容传感器的特点及其应用范围 * 电气测试技术 机械工业出版社 * 电气测试技术 机械工业出版社 3.4.1 电容式传感器的工作原理极其特性 图3-60 平板电容器原理 图3-60为平板电容器原理图，若忽略其边缘效应，其电容量C为： + + + d A ? d、A或ε发生变化时，都会引起电容的变化。 改变极板面积的变面积式； 改变极板距离的变间隙式； 改变介电常数的变介电常数式。 3.4.1.1 变气隙式电容传感器及其特性 图3-60中，设在被测量作用下，动极板向上移动Δd，其电容量增加，电容变化量为： 式中，C0 为初始电容量， 。 在 时，将上式展开成麦克劳林级数： 若动极板向下位移Δd ，同理可得： 由式（3-71）和式（3-72）可见，变气隙式电容传感器的特性是非线性的。若 ，忽略高次方非线性，方可认为其特性是线性的，即： 因此，可得其灵敏度为： 变气隙式传感器的特点是灵敏度高，但非线性严重，通常取之间。 3.4.1.2 变