电化学微细制造技术.ppt

Company Logo Diagram Add Your Title Text Text Text Text Company Logo Diagram Concept Concept concept Concept Company Logo Diagram 1 ThemeGallery is a Design Digital Content Contents mall developed by Guild Design Inc. 2 ThemeGallery is a Design Digital Content Contents mall developed by Guild Design Inc. 3 ThemeGallery is a Design Digital Content Contents mall developed by Guild Design Inc. Company Logo Diagram Your Text Your Text Your Text Your Text Your Text Your Text Your Text Your Text 2001 2002 2003 2004 Company Logo Progress Diagram Phase 1 Phase 2 Phase 3 Company Logo Diagram 2003.10 Add Your Text 2003.10 Add Your Text 2003.10 Add Your Text 2000 2001 2002 2003 Company History 2001.10 Add Your Text 2001.10 Add Your Text 2001.10 Add Your Text 2002.10 Add Your Text 2002.10 Add Your Text 2002.10 Add Your Text 2000.10 Add Your Text 2000.10 Add Your Text 2000.10 Add Your Text Company Logo Table Title Title Title Title Title Title O O O O O Title O O O O O Title O O O O O Title O O O O O Title O O O O O Title O X O X O Company Logo Text1 Text2 Text3 Text4 Text5 3-D Pie Chart Company Logo Block Diagram Add Your Text Add Your Text concept Concept Concept Concept 纳卫星 小于10kg，皮卫星，小于1kg。 * * there is plenty of room at the bottom * 理查德.费曼，1965, There is plenty of room at bottom. Taniguchi,1974年 * 图为英特尔公司总裁兼首席执行官保罗?欧德宁（Paul Otellini）展示世界上第一款基于22纳米制程技术可工作芯片的硅晶圆 * Company Logo 电化学微细制造技术 明平美 河南理工大学 先进制造技术研究所 主要内容 微细制造与电化学加工概述 1 微细电铸制造技术 2 微细电解制造技术 3 存在的问题与发展展望 4 微细制造与电化学加工 1 微小机械 0.1m-0.1mm MEMS 0.1mm-0.1μm NEMS 100nm-0.1nm 人类探索的空间： 已经深入到Nano-Space (1965,费曼；1974,Taniguchi-Nanotechnology;1981,宾尼，罗雷尔，STM） 人类制造活动的目标： 用最少的能耗、最少的物质、在最小的时空，制造出奇妙功能的产品 主要的实现手段： 掌控微观世界的极端化制造-微细制造或微纳制造 表面硅微加工 体硅微加工 LIGA和LIGA-like技术 微细特种加工技术 微机械切削技术 主要微细制造技术 微细电火花加工 微细高能束加工 微细电化学加工 SPM加工 其他加工 微细特种加工技术 主要分类 基本特点 基本定义 电化学加工的概述 基本定义 电化学加工是指利用电化学作用机理进行材料加工的方法（包括阳极去除和阴极沉积等）的总称。 主要分类 电解加工 （阳极溶解） 电铸加工（阳极溶解） 基本特点 共性特点（电化学加工）： 以近似原子单位的量级实现材料的去除与