纳米压印技术和感光树脂应用的发展.pdfVIP

刘力行, 曹瑞军, 白龙腾, 李祥明 ( , 710049) : 纳米压印技术作为1 种新兴的微纳制造技术, 受到了学术 极大的关注UV 光固化纳米压印因其 工艺加工精度高, 生产效率高, 成本低, 对准性好, 在纳米压印中具有无可比拟的优势在其不断发展中对核 心要素之 一的感光树脂的应用也提出了新的要求与挑战本文总结了纳米压印技术及感光树脂应用的发展, 同 时提出了1 种新的纳米压印光刻技术, 并对感光树脂的发展提出展望 : 纳米压印; UV 光固化; 感光树脂; 电润湿; 电毛细 : TQ31 : A :(2011) , 1 纳米压印技术的发展 [6] , , , , 20 90 , ,