基于模糊Petri网推理的半导体生产线投料控制策略.pdfVIP

第 期 电 子 学 报 ７ Ｖｏｌ．３９ Ｎｏ．７ 年 月 ２０１１ ７ ＡＣＴＡＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｊｕｌ． ２０１１ 基于模糊 Ｐｅｔｒｉ网推理的半导体生产线投料控制策略 ， １２ １ ２ 曹政才 ，赵会丹 ，王永吉 （ 北京化工大学信息科学与技术学院，北京 ； 中国科学院计算机科学国家重点实验室，北京 ） １ １０００２９２ １０００８０ 摘 要： 半导体生产线存在大量随机不确定因素，各种不确定扰动的发