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洁净室尘埃粒子检测标准操作规程 文件名：洁净室尘埃粒子检测标准操作规程 文件编号：ZL/SOP/ZK/02100 制定人： 日期： 年 月 日 文件类型：工作标准 审核人： 日期： 年 月 日 版 次：第一版 批准人： 日期： 年 月 日 印 数：共5份 生效日期： 年 月 日 颁发部门：综合办公室 分发至： 质量副总经理、质量管理部、QC检验室、综合办公室 变更记载 修订号 修订人 批准日期 生效日期 原 因 及 目 的 目的：阐述洁净室（区）中悬浮粒子的测试方法，用以规范员工的检测操作。 范围：适用于公司内部生产洁净区尘埃粒子检测工作 责任：生产车间、生产部、质量管理部、QC检验室主任、检验员。 测依据： 内容： 5.1 仪器：光散射粒子计数器和滤膜显微镜。 光散射粒子计数器用于粒径≥0.5μm；滤膜显微镜用于粒径≥5μm的悬浮粒子的计数。使用光散射粒子计数器时应严格按照仪器说明书操作。 测定标准 洁净度 级别 悬浮粒子最大允许数／立方米（a） 频次 静态(b) 动态(b) ≥0．5μm(d) ≥5μm ≥0．51μm(d) ≥5μm 100级 3500 1 35