快速与精确的AFM探针模型重构研究.pdfVIP

2010 年 第 55 卷 第 4-5 期：396 ~ 400 《中国科学》杂志社 论 文 SCIENCE CHINA PRESS 快速与精确的AFM 探针模型重构研究 ①② ① ① ①③ ① 袁帅 , 董再励 , 缪磊 , 席宁 , 王越超 ① 中国科学院沈阳自动化研究所, 机器人学国家重点实验室, 沈阳 110016; ② 中国科学院研究生院, 北京 100049; ③ Department of Electrical and Computer Engineering, Michigan State University, USA E-mail: yuanshuai@ 2009-06-22 收稿, 2009-10-30 接受 国家自然科学基金重点项目(批准号:、国家高技术研究发展计划(编号: 2009AA04Z313, 2009AA03Z316)和中国科学院、国家外国 专家局创新团队国际合作伙伴计划资助项目 摘要 在AFM 扫描成像中, 由于探针具有展宽效应等因素, 导致扫描图像失真. 从数学形态 关键词 学角度看, 可以认为真实图像失真是受到了探针针尖形貌卷积的作用, 因而不能反映样品表 原子力显微镜 面的真实形貌. 采用反卷积运算处理可以排除这类扫描成像干扰, 但需要准确知道探针针尖 探针盲建模算法 形貌, 这对于AFM 纳米扫描图像的精确重构具有实际意义. 在已有的探针建模算法中, 基于 多孔铝 数学形态学 数学形态学的盲建模算法得到了广泛使用, 然而该算法存在运算时间较长, 最优降噪门限阈 值很难确定等问题. 针对这些问题, 提出一种新的盲建模方法, 可以提高盲建模运算速度, 并 且实现AFM 扫描图像的精确重构. 仿真和实验结果证明了上述研究方法的可行性和有效性. 扫描探针显微镜包括扫描隧道显微镜和原子力 2000 年, Dongmo 等人[11]使用该算法完成了三坐标仪 显微镜(atom force microscope, AFM)能够在原子尺度 探针尖端的形貌建模, 并且与 SEM 探针图像进行了 上进行观测和操作, 因而在纳米科学技术中得到广 比较, 验证了该方法的有效性. 近年来, 有众多国外 泛使用[1~4]. 由于 AFM 探针在成像时导致展宽效应, 学者研究了盲建模的改进算法, 并据此对 AFM 扫描 会严重地影响 AFM 的成像质量[2]. 从数学形态学角 图像进行重构[12~15]. 度看, AFM 成像是由探针针尖形貌和样品表面形状 目前探针建模主要采用两类方法. 一类方法通 卷积(膨胀运算)而成, 在样品表面的高度图中产生了 过对已确定的参考表面扫描建立探针形貌, 如纳米 明显的失真. 采用反卷积运算处理可以有效排除这 颗粒等物体[16]. 另一类方法采用基于数学形态学的 [5] 类扫描成像干扰, 但需要已知探针形貌 . 盲建模算法. 由于盲建模方法计算复杂, 需要大量计 目前为止, 众多研究者已经提出多种方法建立 算时间, 因而建模效率很低, 同时噪声对探针建模也 探针针尖形貌. 其中一种是采用扫描电子显微镜观 有很大影响, 难以有效地应用于 AFM 成像的修正和