微执行器专题要点.pptVIP

静电直线马达: 下图时FUKUTA等人1997年发表的一种静电马达。驱动器70um长、50um宽、1um厚，弯头高1.5um。实验中使用±180V电压250Hz。静电直线马达是1987年由Gabriel等人最早提出的，后来不断改进，并获得应用。比如东京大学通口等人利用静电直线驱动原理来非接触搬动Si片。 内容: 热驱动器: 固体的热膨胀、双片式驱动器； 压电驱动器: 压电悬臂粱驱动器、压电叠片式驱动器、压电马达； 三 静电驱动器: 原理、悬臂粱式静电驱动器和静电旋转式微马达等. 微执行器工作原理 -----在英语词典里“驱动器”定义为 Actuator: one that actuates, specif: any of various electric hydraulic, or neumatic mechanism by means of which something is moved or controlled indirectly instead of by hand as a motor that turns of a large ship or moves the elevators of an airplane or an airbrake cylinder operated by a motor man 动词“驱动”是Actuate vt1: to put into mechanical action 可见，所谓驱动指的是对任何物体产生机械动作。所谓驱动器指的是能产生驱动动作的器件或装置，即不是人类的手，而是间接动作或控制机器的电气、气体、液体的机构。 微驱动器 Micro Actuator 又称微致动器和微执行器，是能够产生和执行动作的一类微机械部件或机器的总称。而侠义的说，指的是能将电能装换成特定形式的机械能的微装置。