微纳加工中的精工件台技术.pdfVIP

微纳加工中的精密工件台技术 摘要：随着信息时代的到来，微细加工技术的特征尺寸变得越来越细，加工尺寸 进入亚微米以至纳米级，先进的制造科学与技术显得越来越重要。当今的先进制造技 术是集光学、机械学、电子学、计算机控制技术等于一体的综合技术，微、纳加工技 术的发展，尤其是各种光刻技术的发展离不开精密工件台技术的发展和进步。 本文介绍了精密工件台技术在国内外的研究情况，系统地阐明了精密工件台中的 关键技术一精密测量技术、直线驱动技术、直线导向技术、微位移技术、控制技术的 工作原理、结构、特点；在此基础上，根据运动特点对当前各种各样的工件台结构形 式进行了分类和分析，并对电子束曝光机中的精密工件台作了精度分析，总结了几项 评价工件台主要性能指标的方法，给出了利用电子曝光机中偏转系统实现工件台精度 补偿方法(LBC)，指出了为了获得高精度必须控制温度和振动引起的变形；阐述了精 密工件台在光刻设备、精密测量、机械加工、生物技术、纳米表面形貌测量和纳米加 工中的具体应用。 关键词：激光干涉仪；精密测量；精密定位；微位移；光刻技术 for Precision of Stage Technology ication MicroNano—Fabrication Appl of the oftheinformation micro一nano— Abstract：With age，thetechnology coming the sizecart its toreducetheminimumfeature be fabricationtriesbest size(MFS)，IIOW tothe orderAllthesethanksto to orderof0．1 nanometer’S reducedthe micrometer,even theartoftheadvancedmicro一nano·-labricationwhich many integrateprogressing as controlandothers．The such technologiesoptiCS，mechanics，electronics，digital of allsortsof 011 development micro一llano-fabrication．especially the advanceofthe technology ofprecisionstage． Thes