槽尺寸对针型溶解氧微电极传感器性能的影响(中文版)要点.docVIP

槽尺寸对针型溶解氧微电极传感器性能的影响 Tae-Sun Lim, Jin-Hwan Lee, Ian Papautsky 辛辛那提大学电气与计算机工程系 摘要 在这项工作中，具有不同槽尺寸的针型凹进溶解氧（ DO）微电极传感器被制造和用来表征探讨槽尺寸和传感器性能之间的关系。该凹部内的方环型阴极的几何形状是通过湿法蚀刻形成的，所形成的凹部长度范围从35到 247 微米和以液压直径（Lave/ DH）比例的平均长度从3.0到12.3。在0.85％的生理盐水溶液，以3种溶解氧浓度（0，4.1和8.7 mg / L的O 2）对传感器的性能进行表征。对反应时间，搅拌效果（例如敏感性物理干扰）和电流灵敏度进行了研究。较长的凹部增加了传感器的灵敏度。凹槽尺寸Lave/ DH5的传感器被认为是稳定的，表现出的性能不受搅拌效果的影响，超过500pA/ mg / L的敏感性。这项工作将有助于更好地了解凹陷结构的溶解氧传感器的性能和进行精确的溶解氧测量。 关键词： 针型传感器、溶解氧传感器、微电极阵列、嵌入式阴极 介绍 在生理系统和环境系统中的溶解氧（DO ）是一个物理，化学和生化活动的指示。连续监测溶解氧在很多方面的起着关键性作用，不同的技术已经被开发应用于各种研究领域溶解氧的测量，如医学，湖沼学，微生物生态学，环境工程[ 1-6 ]。在医学，溶解氧微电极的最重要的应用是在监测组织和细胞行为的研究[1,2] 。氧微电极也已经被应用于当癫痫发作或周边的身体器官心血管休克时大脑的研究[ 3 ] 。在这些应用中微探针的两个最重要的准则是，它们不应该破坏生物组织，而应该由生物相容性材料制成。在环境科学，微电极通常用于研究其形成和生长[4,5]时，生物膜溶解氧浓度分布的测量。在生物膜的代谢反应的产物趋向于形成氧浓度分布，其在很大程度上受反应速率和在生物膜的质量传输速率的影响。因此，氧的流量或氧浓度分布的准确测量是用来评价生物膜反应的动力学[6]。 DO微电极也是微尺度样品的有效分析研究工具。小尖端尺寸和微电极的高空间分辨率通过高清晰度绘制感兴趣地区可以直接测量小样本中的溶解氧浓度。因此，根据调查提供的样品条件的详细信息，可以得到微小样品中的溶解氧精确浓度分布。这些传感器的小针尖大小允许它们在难接近的较大尺寸的电极区域使用，并且可以进行不破坏化学环境的测量。另一个使用微电极测量溶解氧浓度的优点是它们的小电区域??（产生的电流通常在PA到nA的范围）是足够的小，小到能最小化地减少阴极上的氧消耗 [7] ，从而提高了准确度和低功耗。低电流也导致低电阻的iR损失，这允许测量在支持电解质条件下的低得多的浓度[8]。 三种类型的氧微电极是最常见的。首先是Clark型微电极DO，它由带有透气膜的工作电极和在电解质中的内置参考电极组成[9]。因为膜厚度是在传感器性能的关键因素，并且通常难以控制，该传感器的制造工艺复杂，从而导致有限的小型化[10-13]。其它两个传感器的类型，开放式和凹溶解氧微电极都使用外部参考电极，因而这些传感器的更容易实现小型化。使用外部基准基本上简化了制造，并允许更小的工作电极面积，这是最大限度地减少在工作电极的氧消耗量的关键。 与其它设计相比，该凹微电极在感测性能显示了显著优点，尤其是对于搅拌的样品。与无膜的阴极，该凹微电极可以由周围的凹结构保护阴极，从而产生一个传感器对对流中的样品不敏感。因为氧扩散到凹部仅限制在凹部内，所以可以在不干扰样品微小电极尖端周围的溶解氧浓度的来实现的DO浓度的准确测量。 图1a照片溶解氧微电极阵列及（b）的SEM溶解氧传感器尖端的形象。 最近，我们报道了一个新的针型凹陷溶解氧微电极阵列（MEA）的传感器采用MEMS技术制造的（图1）[14,15]。弯月面蚀刻被用来塑造玻璃微电极的轴，而连续沉积和金属的腐蚀和绝缘层允许形成一个凹金阴极中的每个微电极传感器的前端。方环型阴极的几何形状是根据芯的形状、金属沉积厚度和腐蚀时间（凹部的长度）而形成的。微电极阵列(MEA)传感器由四个1cm探测器在900微米中心间距上包装一个设计好的PCB载体。微电极尖端均为1微米的量级。该传感器被应用到测量在活生物膜中溶解氧的浓度分布 [14,15]。 凹槽尺寸，如深度和直径，影响传感器的性能并可在制造过程中控制。然而，很少有报道说它们的影响是由于凹部的制造方法的困难。SCHNEIDERMAN和Goldstick[16,17]仿照没有实验数据的氧气运输凹陷阴极和McGuyer等[18]模拟了整个凹陷阴极氧传感器。Bond等[8]报道了镶嵌的理论和实验计时电流响应和凹进盘微电极与开放型微电极未搅动样品。 在本文中，我们实验研究凹陷尺寸对凹陷阴极DO微电极传感器的影响。微电极被制成具有不同尺寸的凹槽，有从35到247 微米的凹槽长度范围和3.0