Ca3B2N4-hBN系中立方氮化硼的膜生长机制.pdfVIP

VoL6,No。 θ 4期 高 压 物 理 学 报 4 第 卷 第 1θ92+12月 CHINEsE JOt,RNAL OF HIoH PRstIRE PWsICs DoC。 ,1992 Ca:B2N4-hBN系 立方 化硼 中 氮 的膜生长机制 臣 晓 广田 张铁 马文骏 郭伟力 徐 伟 邹 (吉林大学原子与分子物理研究所,超硬材料国家重点实验室,长奋 180028) Ca。砀N4为 ,在 温 压 对六角 化羽进 处理,在 六角抵化钔与浊媒的 扪 Ⅱ 以 触媒 亩 亩 下 氖 行 立 。 六 化曰到立 化 Ⅱ的转变与人 交界处得到 了被金冂膜包 Ⅱ的 方负化曰晶体 这表明 角风 方奴 六 田 处 优成核,在生长着 :立 化钔晶 在触媒与 角抵化 接触 择 生 机 似 方氨 体 造金 石的膜 长 制类 刚 “ ’ 运 。 立 六 化硐之间 在右金 日潜胰,该肤对立方抵化田 基元 有棺 作用 随者 的 方氨化 Ⅱ与 角氮 存 ,在 立 m晶 。 区 后留 生长的 方 化 该金曰膜向六角氮化硐 的推进 其 下 抵 体 金 生 机 关Q词 立方氮化硐 触媒 曰膜 长 制 亠 -、 引 一 日 立 硼 (cBN)在 温下 族金属及其合金 的亲合能力 比金刚石弱,而 它的 由于 方氮化 高 与铁 ,因 此 cBN作 和刀具材料越来越受到人们的重视 。近年来随 硬度又仅次于金刚石 为磨料 cBN研 ,特 cBN高 二 ,作 一 在 的功能材料 ,cBN的 着对 究的深入 别是 温 极管 的问世 为 种潜 、 以 性更加 引人注 目。 高温半导体特性 压 电特性 及高频特