灯丝温度对原位吸收光谱和金刚石薄膜生长的影响.pdfVIP

第10卷 第2期 甬 压 物 理 学 报 VoI。 10,No.2 1996年 6月 CHINEsE JOURNAL oF HIGH PREssURE PHYsICs June,1θ 96 灯丝温度对原位吸收光谱和金刚石 + 薄膜生长的影响 崔 彪 玉 景 马 蓉 方容川 (中国 学 科 技 学 理 ,结 术大 物 系 构分析开放实验室,合肥 230026) 摘要 报道 原 红 了 位 外吸收光谱在气相合成金刚石薄膜生长过程 应 ,研 丝 中的 用 究了灯 温度对原位红夕卜吸收光谱和金刚石 膜生长 影 。 丝 薄 的 响 较高的灯 温度使 甲烷分解更充分 ,从而 产生更多诸如 c2H2等 能对金 可 刚石薄膜生长有利的基团,导致金刚石薄膜质量和生长速率的 提高。 键 关 词 吸收光谱 原位检测 金刚石薄膜 温度 图 4.1 o433.51 中 法分类号 o们 l引 言 由于人工气相合成金刚石薄膜在力 、 、 、 学 热学 声学 光 、 学 电学等各个方面的优异性能 及广泛的应用前景 ,近年来 已引起人们越来越多的 注 。金 关 刚石薄膜 的生长过程研究是气 相合成金刚石研究 中的重要课题 ,目 前对于金刚石薄膜 的生长过程 中基 团的作用 没 尚 有 一 统 的认识 。 应 区 为 了弄清反 域 中究竟存在哪些反应基团及它们如何影响金刚石生长,人 们采用 了多种原位方法探测反应过 ,如 E· 幻 Esl、 E4彐 程 光发射谱法 、 法 红 质谱 外 吸收光谱法 。 等 这不仅对于更好 的理解金刚石薄膜 的生长机理非常重要 ,而且如果能反馈原位检测得 到的基团信息 ,就可以实现对反应过程的实时控制 ,指导金刚石薄膜 的研究和应用 。 红外吸收光谱法直接检测反应 区域 活 基 ,并 中的 性 团 且不干扰反应过程 ,已 经被用于