用甲醇-氢混合气源在不锈钢上生长金刚石薄膜的研究.pdfVIP

第 10卷 第 3期 高 压 物 理 学 报 Vol。10,No.3 PHYSICs sept。 1996年 9月 CHINEsE JOURNAL oF HIGH PREssURE ,1996 用 甲醇-氢 混合气源在不锈钢上 生长金刚石薄膜 的研究 、 张小平 (郑州粮食 学 院物理教研 室 ,郑 州 450052) -氢 (CH30H-H2)混 源 ,30nm厚无 过 层 ,借 助于 摘要 利用 甲醇 合气体 为气 的 定形硅 为 渡 微 波等 离子体化 学气相沉积 (MWCVD)成功地将 金 刚石蒋膜 生 长在不锈钢 上 ,其 最低生 长温 度 可至420C,并 且 甲醇-氢 混合 气体 比传统 的 甲烷-氢 (CH4ˉH2)更 具优 势 ,测 试 表 明这种 金 刚 石 薄膜有希望作 为耐磨层在工业 上应用 。 关键 词 甲醇-氢 混合气 不锈钢 金 刚石 薄膜 微波等 离子体化 学气相沉积 中图法分 类号 o613.71 1引 言 由于金 石是 目 世界上所发现硬 最 的物 ,兼 具化学性质稳定等 多方 面优 良 刚 前 度 高 质 80年 SpitsynE1□ 性 能 ,使 其成 为举世瞩 目的特种材料 。 代初 ,B.V。 等人采用化学气相沉积法 在金 刚石衬底上获得金 刚石薄膜后 ,在 铁基合金上生长 出均匀 的金 刚石薄膜 ,并 使薄膜和 金具 良好 的 性 ,一 是 和耐 梦 以 的 目 。 由于在 高温下 ,碳 合 有 粘接 能 直 切 削 磨领域 寐 求 标 但 在铁基合金 中的高度扩散性和铁具有将含碳气体催化成烟灰 的特性 ,使 碳在铁基合金 上 形成金 刚石核极 为 困难 ,所 以必须使用过渡层来 阻止碳进人铁基合金和形成烟灰 的催化 2彐 Tin(3000 H.C。 Shin￡ Mo/Ni/Mo(500/100/50nm)或 作 用 。近来 等人使 用 多层 较 厚 的 nm)膜 过 渡 层 ,运 用 甲烷-氢 (CH4ˉH2)作 为 源 ,成 功地 金 刚石 薄 膜 生 长 在 作 为 气 气 使 SKD61钢 上 T.P.Ong和R.H.ChangE3彐 ⒛ nm厚 (a=si)作 层 ,这 。 使用 的无定形硅 为过 渡 层 比起 Mo/Ni/Mo或Tin厚 要 得 ,同 CH4:H2:02=1:99:0.4 种过渡 膜来说 简单 多 时利用 的混 源 。 之 以 源 人 ,是 了 和无 硅 硅 合气体作 为气