金刚石膜的厚度及背表面过渡层对热导率的影响.pdfVIP

第 11卷 第 1期 高 压 物 理 学 报 V° 1.11,No.1 PHYsICs Mar.△θ97 1997年 3月 CHINEsE JOURNALoF HIGH PREssURE 金刚石膜 的厚度及背表面过渡层 对热导率 的影 响 顾长志 金曾孙 吕宪义 邹广田 (吉林大学超硬材 料 国家重点实验 室 ,长 替 130023) 张纪法 方容川 (中 国科技大 学物理 系 ,合 肥 2300zs) 柑要 采用微波等 离子体化 学气相沉积 (MWPCVD)方法制备金 刚石膜 ,研究 了金 刚石膜 的厚度 以及生 长初期 的 ⒏C过渡层对 其热导率 的影 响 ,给 出 了膜厚 和背表 面 ⒏C过 渡层减 薄 厚度 与金 刚石膜 热导率 的关 系 。 关锾 词 金 刚石膜 热导率 膜厚 背表面过 渡层 法 号 4.4 中田 分类 9娴 1引 言 金 刚石 的热导率是所有物 质 中最高的,金 刚石薄膜 由于其较低 的制作成本和较大 的 而 泛 的应用前景 。 是 由于采用 生长面积 ,使 得它作 为大功率 电子器件 的散热材料 具有广 但 CVD方 法制备 的金 刚石薄膜 为多 晶结构 ,膜 内存在大量 的杂质 与缺 陷 ,其导热性 能一般 还达不到天然金 刚石 的水平 。因此要制备 出高导热 的金 刚石膜 ,必 须搞清影 响其热导率 的 因素 ,从 现有 的制备方法及工艺条件人手 ,优 化制备技术 ,使其性能达到或接近甚至超过 天然金 刚石 的水平 ,以 实现其广泛 的应用 。 金 刚石膜热导率 的研究从80年 代末期就 已开始E1彐 ,这 期 间寻找到 了不少影 响 CVD金 E2~创 的影 响 。 这 ,其 、 及缺 陷 但 刚石热导率 的因素 ,并 提 出了解决 的方法 中包括杂质 同位 素 些研究仍不很充分 ,制 备高导热 的金 刚石膜仍是各 国研究人员努力的 目标 。 为提 高金 刚石膜导热能力 ,本 文从减少杂质浓度和 降低 晶界密度 的角度 出发 ,研 究 了 金刚石薄膜厚度和背表面过渡层对金 刚石膜热导率 的影 响 。 2 实 验 方 法 微波等 离子体化学气相沉积 (MWPCVD)方法 ,由 于系统 内的等 离子体温度均匀 ,设 备采用无极放 电,污 染源少 ,原 料气体分解充分 ,因 此十分利于高 品质金 刚石膜 的制各 以 及适合于 电子学和光学等方面的应用研究 。 、 MWPCVD制 、 、反应室 调节器及进 图1是 备金 刚石膜 的装置 ,它 是 由微波源 波导管 1996-09-OG收 到原稿 ,1996-10L21收 到修改稿 。 第 11卷