硼元素对人造金刚石单晶氧化速度的影响.pdfVIP

「 第 6卷 第 1期 高 压 物 理 学 报 Vo1,6,No,1 1992年 3月 CHINEsE JouRNAL OF HIGH PREkssURE PHYsICS Ma亍, ,1992 硼元素对人造金刚石 曰 单 日氧化速度的影响 郑 周 (机 电部郑州磨料磨具磨削研究所 ,郑州 4500凹) 摘要 本文用 KNoθ溶液氧化法对人造金刚石大单 晶切片进行氧化实验 ,用 两光束干涉 计测量 了单 晶 (含硼及不含硼 ×110)截平面上各 晶面成长 区沿 (110)面法线方 向的相对氧化 深度 ,计算 了其相对氧化速度 ,并定性地与硼元素在这些 区域 的浓度做 了对应 。 关键词 硼 金刚石单晶 晶面成长 区 氧化速度 ˉ ˉ 、 目刂 金刚石单晶的抗氧化性能是与金刚石应用密切相关 的基本特性之一 。对人造金刚石 单 晶而言 ,影 响其抗氧化性能的因素除结 晶完整程度外 ,还有 晶体 中含有 的杂质 (如硼 、 、 )等 氮 金属 等 。关于氮杂质的影响,已 基本察明,发现人造金刚石单 晶的氧化速度随氮含 量增高而加快El]。 由于含硼金刚石 同时又含有氮 ,因 此 ,使得研究硼元素对人造金刚石抗 氧化性能 问 的 题更复杂化 。 此 ,我 尽管如 国许多单位 的学者在七十年代就对含硼金刚石做 了很多研究 ,发现含硼金刚石 比普通金刚石耐热温度提高 了 ⒛0~300CE2·叼。 苟清泉先生 从理论上解释 了硼皮金刚石抗氧化性 E亻 彐 好 的原因 。 夺文用一种新的实验方法 ,研 究硼元素对人造金刚石单晶氧化速度的影 。 响 测试 了含 硼或不含硼 的单晶 (110)截面上各 晶面成长区沿 (110)面法线方 向的 对 相 氧化速度 。并定 性地与硼元素在这些 区域 的浓度分布做 了对应 ,从而得 出了硼元素对人造金刚石单 晶抗 氧化性能影响的一些新结果 ,有助于 了解硼元素对金刚石抗氧化性能的影响。 二 、 实验 及 方 法 从理论上说 ,在金刚石单晶的任意一个截平面上 ,由 于原 面 、 一 子 密度 层间距都 样 ,氧 化时就应以一定氧化速度氧化 ,氧化后也应形成一个 面 。