金刚石表面杂质的深度分布.pdfVIP

第 6卷 第 3期 高 压 物 理 学 报 Vd。6,No。3 190z年9月 CHINE引 :JOURNAL OF HIGH PRst1RE PHYsICs sept. ,1θ92 金刚石表面杂质的深度分布 ° a,. 瑶 张 达 朱 华 书 (⒏ 心,沈 津广播电视大学,天津 300191) 中国科学院国际材料物理中 阳 110015;b.天 。 表面杂质的 扪要 利用二次离子质谱法6IMs)测±和分析 了金刚石的表面杂质 为获得 Ar+总 6400s,以N、 Na、Mg和s四 深庋分布 ,采用 了离子剥蚀法 ,用 15kev的 共剥蚀 了 种杂质 面 一 层内,它相当于剥蚀 ,各 浓 最大值均位于坟外表 的 莳 对 。 表明 种杂质的 庋 作为研究 象 结果 悬 。 上 以 差 殊 但 6· 5min。 面 浓 相 很 时间不足 对于某一给定的杂质,在 不同样品的垠外表 的 庋可 At+剥 8汕m以 ,不 品 的浓庋相差不很大 ,且 同 祥品中,各 种杂质的浓度随剥 当 蚀 后 同祥 中 一 (即 加)变 化 大 。 蚀时间的增大 随深庋的增 不 关钍词 金刚石 表面杂质 深度分布 -、 前 由于金刚石生长的条件较复杂 ,所 以不论是天然金刚石还是人造金刚石 ,都 没有像单 “ ” 金 的杂质元素可多达二+余种 ,其总量可达百分之几 晶硅那样 纯净 的晶体 。 刚石晶体 中 (重量 比)。 许多作者E⒈6〕 研究 了金刚石晶体 内,杂 质的含量及存在形式 以及它们对金刚石 。 金刚石表面与其 内部的情况是不 同的,往往表面的杂质分布 (因而其表面 性能的影响 但 性能),对制作金刚石烧结体或金刚石工具影响更大 。这一点 已引起越来越多的人的注意 。 E7彐 RΠ ·BoraTupeBa等 近年来表面科学的迅速发展 ,促进 了对金刚石表面的研究 。 人 研究 了 :D研 表