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　射频等离子体球化 SiO2 粉体的研究 29 射频等离子体球化 SiO2 粉体的研究 Sp heroidizatio n of Silica Pow der s in a Radio Frequency Pla sma 1 ,2 1 ,2 1 闫世凯 , 胡 　鹏 , 袁方利 , 李晋林1 ( 1 中国科学院过程工程研究所 , 北京 100080 ; 2 中国科学院研究生院 , 北京 100039) YAN Shikai1 ,2 , HU Peng1 ,2 , YU AN Fangli1 , L I J inlin1 ( 1 In stit ut e of Proce ss Engineering , Chine se Academy of Science s , Beij in g 100080 , China ; 2 Graduat e School of Chine se Academy of Science s , Beij ing 100039 , China) 摘要 : 采用射频等离子体球化颗粒形状不规则的二氧化硅粉体 ,研究了加料速率 、颗粒大小等因素对球化率的影响 。 用光学显微镜观察球化前后颗粒的形貌 ;用流动仪测定球化后粉体的松装密度 。结果显示 ,球化后的二氧化硅颗粒球 形度高 ,细颗粒长大 ,并且随着球化率的增大粉体松装密度增加 。初步查明加料速率 、原料粒度等参数对球化率的影 响 。在适当的条件下可以得到球化率高 、球形度好的粉体 。 关键词 :射频等离子体 ; 球化 ; 二氧化硅 ( ) 中图分类号 : TQ 1272 　　文献标识码 :A 　　文章编号 :100 14381 2006 Abstract :Sp herical silica ( SiO2 ) particles were obtained by t he p rocess of heating irregularly shaped SiO2 powder s under radio frequency plasma (RF plasma) condition The effect of feed rate and p article size on sp heroidization efficiency was studied Properties of t he powder s were characterized by optical micro scope p hotograp h and apparent density Because of t he collisions between fine melting particles in t he plasma torch , t he p rocessed powder ’s mean diameter is larger t han t he original one And t he re