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Rena设备 详细说明 详细说明 详细说明 详细说明 详细说明 详细说明 手动模式详解 刻蚀槽功能 刻蚀槽功能 RENISE1功能 RENISE1功能 碱槽功能 碱槽功能 RENISE2功能 RENISE2功能 HF槽功能 HF槽功能 RENISE3功能 RENISE3功能 DRYER2功能 DRYER2功能 COOLINGUNIT功能 COOLINGUNIT功能 传动功能 传动功能 * MODE MANMODE AUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换 FILLING----给冷水机加自来水（冷水机上有液位显示） DRAINING----冷水机排水（自来水）‘ 冷水机状态 传动状态(3个) 同时控制3个传动 Recipe界面 Replenish界面 RENA InOxSide工艺步骤：边缘刻蚀→碱洗 →酸洗→吹干 RENA InOxSide后清洗设备的主体分为以下七个槽，此外还有滚轮、排风系统、自动及手动补液系统、循环系统和温度控制系统等。 Etch bath Rinse1 Alkaline Rinse Rinse2 HF bath Rinse3 Dryer2 RENA InOxSide设备构造 Rena InOxSide的操作界面，基本的工艺要求，换药规程等、基本都都同于Rena InTex设备，在此不再累述。