电子与固体相互用的Monte Carlo模拟.pdfVIP

摘 要 摘 要 针对电子束曝光领域影响曝光分辨率的一个重要原因一电子在固体中的散 射，从电子与固体物质的相互作用机理入手进行分析，分析相互作用的各种结果。 析电子在固体物质中的弹性散射和非弹性散射，电子的射程及能量损失规律。根 据选定的物理模型，采用MonteCarlo方法对电子与固体物质的相互作用过程进 行模拟。给定电子剂量，确定抗蚀剂吸收能量密度，选用抗蚀剂的能量阈值模型 确定抗蚀剂受到电子辐照后能否被显影。 本文着重讨论了用计算机实现模型的问题，包括： (1)计算流程确定； (2)坐标转换； (3)随机数的产生、如何避免数据逸出、存储空间的合理利用、如何在计算机 环境规定的矩阵容量内实现程序等细节问题的处理； (4)大量数据的存储和读取； (5)数据与空问坐标的一一对应； (6)画电子散射轨迹图、抗蚀剂能量吸收图、抗蚀剂显影图。 分析计算机模拟结果与实验结果，得出结论。 关键词：电子束曝光、电子散射、MonteCarlo方法、模拟 摘要 MonteCadoSimulationoftheInteractionsofElectronswithSoli