我国低温等离子体的研究进展_.pdfVIP

低温等离子体及其应用专题 ( ) 我国低温等离子体研究进展 Ⅰ 江 　南 (中国科学院物理研究所 　北京 　100080) 摘 　要 　　低温等离子体物理与技术的研究在国内受到了越来越多的重视. 在等离子体中发现的一些有趣的物理 现象 ,如磁场重联 、尘埃等离子体等 ,使人们对等离子体物理的研究掀起了新的热潮. 在应用方面 ,几乎所有理工类 实验室都有涉及低温等离子体技术的实验装置 ,这使得在我国低温等离子体应用方面的研究非常普及 ,包括微电 子工业中的等离子体工艺 ,各种坚硬 、耐腐蚀 、耐摩擦材料的制备 ,纳米材料的制备 ,聚合物以及生物材料的表面改 性 ,等等. 随着低温等离子体技术的发展 ,低温等离子体的诊断技术也随之发展起来. 文章简要地介绍了近几年来 低温等离子体研究在我国的发展 ,介绍了一些有关低温等离子体的热点研究课题. 关键词 　　低温等离子体 ,低温等离子体物理 ,低温等离子体诊断 ,低温等离子体应用 L ow tem pera ture pla sma research in Ch ina( Ⅰ) J IAN G N an ( Institu te of P hy sics, Ch inese A cadem y of S ciences, B eij ing 　100080, Ch ina) Ab stract　　Low temp erature p la sm a p hysics and technology p lay an increasingly important role in scientific research in Ch ina. R ecently ob served new p henom ena such as m agnetic reconnection and du sty p la sm a have a rou sed new interest in p lasm a physics. In p ractice, almo st every p hysic s or technology laboratory ha s som e de vice or in strum ent involved w ith or u sing low temp erature p lasm a. , wh ich has led to w ide sp read app lied low temp eratu re p la sm a re search in our country, including p la sm a p roce ssing in the m icroelectron ics indu stry, the p rep aration of hard or / and anticorro sion or/ and wearre sist m aterials, nanom aterials, su rface modification of polym er or b iom aterials, and so forth. W ith the developm ent of low temp erature p lasm a technology, the rel