超出管控规范记录参数管控要点.pptVIP

超出管控控制---氧化 一、人员异常 二、设备 三、辅料 一、人员操作 超出管控控制---拉晶周期长 原因分析1 原因分析2 解决措施1 解决措施2 解决措施3 原因分析1 1.原料因素： 原料杂质过多或表面处理时有残留物，易生成多个晶核，造成 引晶无棱或多棱，放肩等径多次断棱，长晶周期长 2.辅料因素： a.石英坩埚纯度不达标或内表面涂层不均匀，杂质进入硅液，污染原料，长晶困难 b.加热器/碳毡老化/石墨件变形/，造成硅液各温区分布不合理，长晶界面不稳定，多次断棱，周期长 3. 操作因素： a.熔料或断棱回熔功率过高，硅液与石英坩埚反应剧烈，石英坩埚内含杂质进入硅液，硅液杂质浓度增大，长晶困难 原因分析2 b.安装不对中/稳定温时间过短/引晶质量不高/放肩温控不合理/长晶埚位不合理/拉速SP过大等违规操作，造成多次断棱周期长. 4.工艺卫生： 清炉时炉膛内壁，石墨件及重锤夹具表面有残留物，长晶时掉落，吃渣断棱，长晶周期长 5.设备因素： 漏水/漏气/管道不畅通/真空泵抽速不达标/等真空系统故障，造成氧化和挥发物带不走，吃渣断棱，周期长 解决措施1 解决措施2 解决措施3 超出管控控制---晶棒变形 晶棒变形的原因 操作导致晶