表面钝化对少子寿命、铁-硼对浓度和复合中心浓度的影响.pdfVIP

2010 年 第 55 卷 第 2 期： 188 ~ 193 《中国科学》杂志社 论 文 SCIENCE CHINA PRESS 表面钝化对少子寿命、铁-硼对浓度和复合中心浓度的影响 ① ① ① ② ② ① 李凤 , 马忠权 , 孟夏杰 , 吕鹏 , 于征汕 , 何波 ① 上海大学物理系索朗光伏材料与器件联合实验室, 上海 200444; ② 上海索朗太阳能科技有限公司, 上海 200120 E-mail: joysli@ 2009-07-07 收稿, 2009-09-22 接受 国家自然科学基金(批准号:、上海市重点学科建设项目(编号: S30105)、上海大学研究生创新基金(编号: SHUCX091012)、SHU- SOEN’s PV 联合实验室基金(编号: SS-E0700601)和上海市基础研究重点项目(编号: 09JC1405900)资助 摘要 分别采用0.08 mol/L 的碘酒、等离子体增强化学气相沉积(PECVD) SiN : 关键词 x H 和40% 的HF 酸对太阳电池级直拉单晶硅进行表面钝化, 然后利用微波光电导衰减(μ-PCD) 法测量硅片的少 微波光电导 子寿命和铁-硼(Fe-B)对浓度. 通过比较少子寿命测量值, 发现0.08 mol/L 的碘酒的钝化效果最好, 表面钝化 少子寿命 40% 的HF 酸的钝化效果最差. 对硅片Fe-B 对浓度测量结果的分析表明, 同一硅片经过不同钝化 铁-硼对 处理后Fe-B 对浓度分布差异较大, 且只有经过PECVD 沉积SiN :H 钝化的硅片的Fe-B 对浓度分 x 复合中心 布与少子寿命分布有显著的相关性. 此外, 实验研究还发现, 钝化效果比较好的情况下, 复合中 心浓度分布与 Fe-B 对浓度分布存在很强的相关性. 实验的半定量估算、分析表明, 少子寿命、 Fe-B 对浓度以及复合中心浓度分布的间接测量结果, 受到样品表面钝化效果的影响. 在反映半导体材料与器件性质的多个物理参数 其中 是硅片中少子的体复合寿命; 是少子从 τ τ bulk diff 中, 少子寿命(τ )有着非常重要的作用, 测量少子寿 硅片的体内向表面扩散的时间,