显微条纹投影系统和测量方法的研究.pdfVIP

摘要 近年来随着微纳技术的迅速发展，各种高精密微小元器件得到了广泛的使 用，这对检测方法提出了更高的要求。传统方法已经无法满足新器件的检测需求， 需要有更新的方法来实现这一功能，条纹投影术和显微系统相结合的三维形貌测 量方法就是针对这种需求而提出的。具体来说本文主要做了以下几个方面的工 作： 1、通过阅读文献，分析了国内外条纹投影测量技术的研究现状，选定显微 条纹投影测量系统和方法进行研究，用于微小元器件的三维轮廓测量。 2、研究了相移法测量物体三维轮廓信息的原理。首先分析了相位提取和相 位展开算法，并提出利用五步相移法进行相位提取，利用基于留数去除的算法进 行相位展开。 3、搭建测量系统。其中硬件部分主要包括：光学投影模块和图像采集模块 等；软件部分主要包括Labview编写的正弦条纹生成模块、图像采集存储模块、 Matlab编写的相位提取模块、相位展开模块、系统标定模块及物体轮廓生成模 块等。 4、进行系统标定。首先研究了测量模型，然后在此基础上提出两种系统标 定方案：投射均匀条纹，因为有效波长是一个变量，所以要对测量空间内的所有 点进行标定；投射变形条纹，此时有效波长为一个常量，只需取一点进行标定， 得出有效波长即可。本文利用第一种方法完成了对系统z向的标定，并对其标定 结果进行验证。 5、利用系统完成对微小元器件的测量。首先利用五步相移法和陶瓷板对系 统进行重复性、精度等一系列的测试，其测量范围为毫米级、精度为微米级，最 后利用本系统完成对硬币表面图案的测量，验证了本系统的可行性。 关键词：显微条纹投影 微小元器件 相移 相位展开 系统标定 ABSTRACT ofmicro—nano inrecent Withthe development technologyyears，avariety rapid more used thisdemands of havebeen widely,and precisionmicro-components high havebeenunableto the formeasurement methods satisfy technology．Traditional ofthesenewdevices newerandbeaermethodStoachieve requirements testing，SO measurementwhichcombines this al·eneeded．Three．dimensional fringe purpose and is forwardforthesedemands．The techniquenaicroscopyput mainly projection achievementsinthisdissertationarelistsasfollows： abroad 1．Theliteraturesabout measurementathomeand microscopic system