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【工程测试与信号处理】尺寸线位移测量资料.ppt

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长度及线位移测量 电涡流效应 电涡流探头内部结构 1—电涡流线圈 2—探头壳体 3—壳体上的位置调节螺纹 4—印制线路板 5—夹持螺母 6—电源指示灯 7—阈值指示灯 8—输出屏蔽电缆线 9—电缆插头 CZF-1系列传感器的性能 调幅式(AM)电路测量电路 调频(FM)式电路(100kHz~1MHz) 当电涡流线圈与被测体的距离x 改变时,电涡流线圈的电感量L 也随之改变,引起LC 振荡器的输出频率变化,此频率可直接用计算机测量。如果要用模拟仪表进行显示或记录时,必须使用鉴频器,将?f转换为电压?Uo 。 涡流位移测量仪 位移测量包含: 偏心、间隙、位置、倾斜、弯曲、变形、移动、圆度、冲击、偏心率、冲程、宽度等等。来自不同应用领域的许多量都可归结为位移或间隙变化。 4~20mA电涡流位移传感器外形 V系列电涡流位移传感器外形 V系列电涡流位移传感器性能一览表 某V系列电涡流位移传感器的机械图 电涡流探头线圈的阻抗受诸多因素影响,例如金属材料的厚度、尺寸、形状、电导率、磁导率、表面因素、距离等。只要固定其他因素就可以用电涡流传感器来测量剩下的一个因素。因此电涡流传感器的应用领域十分广泛。但也同时带来许多不确定因素,一个或几个因素的微小变化就足以影响测量结果。所以电涡流传感器多用于定性测量。 即使要用作 定 量 测量,也必须采用逐点标定、计算机线性纠正、温度补补偿等措施。 偏心和振动检测 通过测量间隙来测量径向跳动 测量弯曲、波动、变形 对桥梁、丝杆等机械结构的振动测量,须使用多个传感器。 测量金属薄膜、板材厚度电涡流测厚仪 测量冷轧板厚度 测量尺寸、公差及零件识别 通过测量间隙来测定热膨胀引起的上下平移 测量封口机工作间隙 测量注塑机开合模的间隙 镀层厚度测量 由于存在集肤效应,镀层或箔层越厚,电涡流越小。测量前,可先用电涡流测厚仪对标准厚度的镀层和铜箔作出“厚度-输出”电压的标定曲线,以便测量时对照。 电涡流涂层厚度仪 不圆度测量打印 电感传感器在粗糙度测量中的应用 ——手持式粗糙度仪 ?触针: 金刚石圆锥; ?针尖圆弧半径:5μm; ?可存储500个粗糙度参数值及4组轮廓数据; ?可进行粗糙度参数的打印; ?可对外圆、内孔、轴肩、圆锥面等各种复杂表面进行测试; 粗糙度仪外形 粗糙度测量结果打印(2) 激光干涉测长 激光干涉测长的基本光路是一个迈克尔逊干涉仪,如图所示,用干涉条纹来反映被测量的信息。 判向计数原理框图 干涉条纹计数时,通过移相获得两路相差π/2的干涉条纹的光强信号,该信号经放大,整形,倒向及微分等处理,可以获得四个相位依次相差π/2的脉冲信号。实现干涉条纹的四倍频记数。相应的测量方程变为 激光外差干涉测长技术 直流干涉仪:前置放大器为直流放大器。动镜从静止→运动→静止;干涉条纹变化频率从0 →最大值→0;光强转化的直流信号的频率变化范围也从0开始,需用直流放大器。 缺点:外界环境干扰能力差,只能在恒温防震条件下使用。 外差干涉仪:在干涉仪的信号中引入一定频率的载波,使被测信号通过这一载波来传递,干涉仪能够采用交流放大,隔绝外界环境干扰造成的直流电平漂移。 载波信号产生方法:使参与干涉的两束光产生一个频率差,这样的两束光干涉会产生“光学拍”现象,转化为电信号得到差频信号。(光外差干涉)。 其中氦氖激光器上沿轴向施加以磁场,由于塞曼效应激光被分裂成有一定频率差的左旋偏振光f1和右旋偏振光f2 测量反射镜运动产生的多普勒频移可以表示为 测量镜的位移量可由下式计算 图为利用光栅传感器直接测量数控机床工作台位移量的现场照片。 工作台 光栅 工作台运动方向 光栅在机床上的安装位置(3个自由度) 数显表 安装有直线光栅的数控机床加工实况 防护罩内为直线光栅 光栅扫描头 被加工工件 切削刀具 磁栅式传感器 一、 磁栅式传感器的工作原理和结构 磁栅式传感器主要由磁栅和磁头组成。磁栅上录有等间距的磁信号,它是利用磁带录音的原理将等节距的周期变化的电信号(正弦波或矩形波)用录磁的方法记录在磁性尺子或圆盘上而制成的。装有磁栅传感器的仪器或装置工作时,磁头相对于磁栅有一定的相对位置,在这个过程中,磁头把磁栅上的磁信号读出来,这样就把被测位置或位移转换成电信号。 1.磁栅 1) 磁栅的结构 长磁栅的节距W一般为0.05?mm或0.02?mm 2) 磁栅的类型 磁栅分为长磁栅和圆磁栅两大类,分别用于测量直线位移和角位移。 长磁栅又可分为尺型、带型和同轴型三种。 磁栅式传感

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