CC031-1洁净室材料和元件释气有机化合物测定方法解析.docVIP

环境科学技术学会 Institute of Environmental Sciences and Technology 污染控制分会 推荐规范031.1 Contamination Control Division Recommended Practice 031.1 IEST-RP-CC031.1 洁净室材料和元件释气有机化合物测定方法 Method for Characterizing Outgassed Organic Compounds from Cleanroom Materials and Components 为推进技术和工程科学的发展，环境科学技术学会发布本推荐规范。本规范的使用完全出于自愿，使用者自己判定其是否适用于特定应用场合。 本推荐规范由IEST污染控制分会下属的031工作组编制并管理。 本推荐规范2003版本的版权归环境科学技术学会所有。 2003年4月第一次印刷。 改进建议：环境科学技术学会的各工作组不断地改进他们的推荐规范和参考文献。欢迎用户对所用文件提出意见。若对本文件有意见和建议，请利用互联网与我们联系，网址：/proposal/form.html。 蔡杰 译 孙扬 校 2006年12月 Institute of Environmental Science and Technology 5005 Newport Drive, Suite 506 R