ED055 试验操作规范.docVIP

文 件 修 订 记 录 修订日期 修 订 类 别 版 次 抽 换 页 总 页 数 修订内容简要 修订者 增加 删除 异动 废止 1、目的： 规范试验作业流程，确保试验过程顺利进行及结果准确 2、范围： 2-1 品质异常确认试验 2-2 专案制作试验 2-3 DOE参数优化试验 2-4 新产品研发所做试验 3、权责： 制工课化学组、机械组、影像转移组 4、内容： 4-1 试验提案：针对厂内现有制程品质异常确认、专案制作、DOE参数优化或新产品研发而需制作试验确认之项目，主管提列试验要求、目的并明确指定试验负责人 4-2 试验计划：试验负责人提列试验的过程实施方案及相关注意事项 4-3 试验计划审核：试验负责人将试验计划交由主管审核 4-4 试验资料设计：试验负责人针对试验的要求及相关流程设计试验所需的资料并请相关单位人员配合制作 4-5 试验资料审核：试验负责人将试验设计的所需资料交由主管审核 4-6 《制工课试验流程单》ED####主管审核后会签各相关单位 4-7 试验材料及工具准备：试验负责人依据试验提案及试验所设计的资料确定试验所需的相关材料和工具并确认到位，并依《制工课试验流程单》ED####说明各工具试验完成后的处理方法 4-8 试验板获得：依试验所须的要求从基板仓领基板或从生管借量产板，在《制工课试验流程单》ED####上作备注并请相关单位人员确认 4-9 试验板制作：试验所需的相关材料、工具、资料准备完整后按试验要求制作试验板 4-10 试验数据收集：试验负责人将试验时在所需试验的制程制作的参数、流程作记录，品质数据收集并请统计人员进行分析 4-11《制工课试验流程单》ED####回馈相关单位：试验结束并依表单格式填写工具管控方式回馈相关单位 4-12 试验总结报告：试验负责人将试验在各制程制作时所收集到的数据、数据分析结果、试验结论及相关建议事项和未来工作计划整理汇总试验报告 4-13 试验报告审核：试验负责人将试验报告交由主管审核 4-14 试验成果发布：试验负责人将试验的成果以内联单的形式知会各相关单位 4-15 纳入SOP：试验相关成果或建议纳入SOP 4-16 结案：试验相关资料存挡及教育训练 5、DOE试验项目 5-1 为何要进行DOE试验 5-1-1 制程品质稳定但需进一步改善品质 5-1-2 长期品质问题未能解决而需进行的试验改善 5-1-3 为提高制程产能或降低成本而需进行的试验改善 5-2 DOE试验制作要求 5-2-1试验因子依据现行参数，从理论上推断确定试验因子的可行性参数值 5-2-2 各制程DOE试验汇总 6、试验板管控方式 6-1 试验板来源——发基板 6-1-1 依正常资料作业，品质OK板可以转生管续流下制程作业或入成品仓 6-1-2 若确认试验板试验完成后要报废，基板领料时则在MIS系统中6原料物料采购系统中作业，成本记入制工课试验板 6-2 试验板来源——借生管量产板 6-2-1 作为品质确认但试验完成后不会造成报废时可借生管量产板试验 6-2-2 借板时需生管领班以上人员同意由当站生管员确认后才可以拿板并作好记录 6、流程图 6-1试验作业流程图：ED055-01 6-2流程图的说明 序号 流程说明 备注 试验提案 制程负责人也可提出 试验计划 试验负责人提列试验的过程实施方案和相关注意事项 NA 试验计划审核 试验负责人将此试验计划交由主管审核 确保试验计划的周密性 试验资料设计 试验负责人针对试验的要求、目的及相关流程设计试验所需的资料并请相关单位人员配合制作 确保试验时工具的正确性 试验资料审核 试验负责人将试验设计的所需资料交由主管审核 提高资料制作时的准确性 试验信息反馈 试验及时反馈相关单位 试验材料及工具准备 工具须在试验板到站前完成 在《制工课试验流程单》ED####上作备注 9 试验板制作试验所需的相关材料、工具、资料准备完整后按试验要求制作试验板试验负责人安排试验板在各制程的制作 10 试验数据收集 试验负责人将试验时在各制程制作时的参数、流程作记录，品质数据收集并请统计人员进行分析 品质数据请品管收集，品保协助分析 试验结束并依表单格式填写工具管控方式回馈相关单位 依正常流程作E