干法制备Cu(In0.7Ca0.3)Se2薄膜太阳能电池研究.pdf

摘要 一，因其转换效率高(最高的转换效率已经达到21．5％)、成本低、性能稳定等优点， 引起了国内外光伏界的广泛关注。经过近30年的发展，这种电池的产业化依然没有形 成一定规模。其主要困难表现传统的方法存在干湿混合，工艺复杂，不能保证大面积样 苛刻的要求。另外，Cd的污染也是目前主流工艺的弊病。本文所采用的以溅射为主的 全干法制备CIGS薄膜太阳能电池从原理上来讲，可以避开现流行工艺中的干湿法混合， 工艺繁复，易污染、界面质量低等缺陷，有助于实现电池的规模化生产。 为此本工作利用磁控溅射技术，分别逐层制备了CIGS薄膜太阳能电池各构成膜。 积参数对CIGS薄膜太阳能电池各构成层的结构，电学、光学特性的影响，进一步制备 了CIGS太阳能电池器件并对其光电性能进行了研究。研究结果如下： 0．2Pa、溅射功率为148W)制备的薄膜具有较好的表面形貌和导电性能。 为200W时能得到较好的结晶相。 的C轴择优生长的晶体结构与较好的光电学性能。 果，依次制备CIGS电池的钼电极、吸收层、缓冲层、窗口层和上透明电极等。初步研 究了器件的I—V特性和光谱响应。 关键词：磁控溅射，干法制备，实验参数，电学特性，光学特性 ABSTRACT Afteralmost30 indium selenium years development，coppergallium CuOno．7，Gao．3)Se2， isoneofthe solarcellmaterials．Its relativelycheap conversion large efficiency(21．5呦and stable behaviorhaveraisedextensiveinterestsininternational operating photovoltaicindustry． ofthis industrializationsolarcellisstillnot However,the realized．Themaindi伍cultiesare鹪 mature methodsofCIGSthin follows：first，relativelypreparation filmsusewetand dry andcannot the of with areas． complicatedprocedures guranteeuniformitysamples larger Second，criticaland are toachievescale equipmentscontrollingproceduresrequired large ofcellswith thanthosesmall production larger areas(300mmx300mm)rather samples inlaboratories．In isnowa